[实用新型]一种石墨载板有效
申请号: | 201720857725.1 | 申请日: | 2017-07-15 |
公开(公告)号: | CN206921800U | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 吴旭光 | 申请(专利权)人: | 青岛环球石墨制品有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
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地址: | 266000 山东省青岛市莱*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 | ||
1.一种石墨载板,包括板架(1),所述板架(1)的内侧设有分隔筋(2),所述分隔筋(2)的内侧设有放置槽(3),其特征在于:所述放置槽(3)的内角设有弧形边(4),所述放置槽(3)的内壁设有适配槽(10),所述适配槽(10)的内侧设有条形板(7),所述条形板(7)的外侧安装有压板(6),所述分隔筋(2)的内部设有中心杆(9),所述中心杆(9)通过连接杆(8)与条形板(7)相连,所述板架(1)的上下两端内侧均设有外凹槽(13),所述外凹槽(13)的内侧设有合金杆(12),所述板架(1)的左右两端均设有插孔(14),所述合金杆(12)的左右两侧均设有插杆(15),所述插杆(15)贯穿插孔(14),所述板架(1)的外侧贯穿连接有定位销(18),所述插杆(15)的外侧设有通孔(16),所述定位销(18)贯穿通孔(16)。
2.根据权利要求1所述的一种石墨载板,其特征在于:所述板架(1)的外侧设有边板(19),所述边板(19)的内侧设有翼板(23),所述板架(1)的外壁内侧设有开槽(22),所述翼板(23)与开槽(22)相配合,所述翼板(23)通过转杆(24)与板架(1)相连,所述转杆(24)与板架(1)的连接处设有转环(21),所述板架(1)的外壁设有卡凹(25),所述边板(19)的内壁设有卡凸(20),所述卡凸(20)与卡凹(25)相匹配。
3.根据权利要求1所述的一种石墨载板,其特征在于:所述定位销(18)的外侧设有密封帽(17)。
4.根据权利要求1所述的一种石墨载板,其特征在于:所述弧形边(4)的内壁设有角槽(5)。
5.根据权利要求1所述的一种石墨载板,其特征在于:所述放置槽(3)的内角设有内角槽(11)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造