[实用新型]一种绝缘密封结构的MEMS电场传感器

权利要求书

1.一种绝缘密封结构的MEMS电场传感器，其特征在于，包括：

绝缘密封外壳(1)，其内部为空腔结构；以及

MEMS电场测量模块，设置在所述空腔结构内，用于探测外界电场。

2.根据权利要求1所述的MEMS电场传感器，其特征在于，所述MEMS电场测量模块包括：

MEMS电场敏感芯片(2)，探测外界电场产生感应电流信号；以及

驱动检测电路单元(3)，用于驱动MEMS电场敏感芯片(2)工作并检测其输出的感应电流信号实现被测电场信息的解算。

3.根据权利要求2所述的MEMS电场传感器，其特征在于：MEMS电场敏感芯片(2)的封装顶部为金属盖板，所述MEMS电场测量模块还包括金属探测极板(4)，金属探测极板(4)与所述金属盖板电连接。

4.根据权利要求1-3中任一所述的MEMS电场传感器，其特征在于，所述绝缘外壳(1)包括，上壳体(11)和下壳体(12)，所述上壳体(11)和下壳体(12)的连接处采用密封胶和/或密封圈密封，形成密封的空腔结构。

5.根据权利要求4所述的MEMS电场传感器，其特征在于，所述下壳体(12)底部设置固定柱(13)，所述固定柱(13)固定支撑容置在所述空腔结构中的MEMS电场测量模块。

6.根据权利要求4所述的MEMS电场传感器，其特征在于，所述上壳体(11)和下壳体(12)中的至少一个的内表面镀金属层，所述金属层与所述金属探测极板(4)或金属盖板可电连接。

7.根据权利要求4所述的MEMS电场传感器，其特征在于，所述空腔结构内还设置有温湿度监测控制单元(5)，用于反馈和/或调整MEMS电场测量模块周围的温度并监测空腔结构内的湿度变化。

8.根据权利要求7所述的MEMS电场传感器，其特征在于，所述温湿度监测控制单元包括：

温度传感器；

湿度传感器；

A/D转换器，与所述温度传感器和湿度传感器，用于将探测到的模拟信号转换为数字信号；

中央处理器，接收A/D转换器发送的数字信号，并发送控制信号和/或报警信号；

温度调节装置，基于所述控制信号对空腔结构内的温度进行调节；以及

报警装置，基于所述报警信号提醒MEMS电场传感器的密封状态。

9.根据权利要求8所述的MEMS电场传感器，其特征在于，所述温度调节装置包括加热装置。

10.根据权利要求4所述的MEMS电场传感器，其特征在于，所述下壳体(12)上设置有通孔，用于穿设给MEMS电场测量模块供电或信号交互的电线，所述电线穿设后该通孔被密封。