[实用新型]层叠膜检测机

说明书

技术领域

本实用新型涉及层叠膜缺陷检测技术领域，特别是涉及一种层叠膜检测机。

背景技术

近年来层叠膜被广泛应用于光学元件、半导体器件等各个领域中，层叠膜的种类及其应用范围也在不断扩大，但层叠膜中可能会存在压痕、辉点、气泡等缺陷。在层叠膜成品的检测过程中，一般将一个像素高、视野大的检测相机安装于层叠膜成品的正上方，检测系统通过相机对层叠膜的表面进行成像然后进行分析；由于层叠膜中的不同缺陷对光线具有不同的反射角，且光线每穿过一层膜也会发生折射，为提高层叠膜成品检测的准确率，通常会根据层叠膜的种类在层叠膜成品上方的相应位置手动加装光源，并在检测过程中通过人工调整光源的角度和位置。这种层叠膜检测方法的缺陷是：检测结果会因受工人的经验、技术娴熟程度、劳累程度等影响而不准确，且因实时设定光源的位置和角度而造成检测效率低下；单一的成像角度也造成层叠膜成品的检测准确率不高。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的层叠膜检测手段中单一的成像角度检测准确率不高、因人工参与造成的检测结果不稳定及效率低下的问题，提供一种多方向检测的层叠膜检测机。

一种层叠膜检测机，包括：

光源，用于向待检测的层叠膜发射检测光线；

多个成像装置，多个所述成像装置的成像区域至少部分重合，所述成像区域的重合部分能够覆盖所述待检测的层叠膜，以接收经所述待检测的层叠膜透射或反射的检测光线，多个所述成像装置接收检测光线的方向各异。

在其中一个实施例中，所述光源与所述成像装置设置于层叠膜的同侧，所述成像装置接收经所述待检测的层叠膜反射的检测光线。

在其中一个实施例中，所述成像装置包括中心成像装置和周围成像装置，所述周围成像装置设置于所述中心成像装置的周围，所述周围成像装置接收检测光线的方向向所述中心成像装置接收检测光线的方向倾斜。

在其中一个实施例中，所述中心成像装置的成像轴线垂直于所述层叠膜所在的平面，所述周围成像装置的成像轴线与所述中心成像装置的成像轴线的夹角为35°至55°。

在其中一个实施例中，所述中心成像装置的成像轴线与所述待检测的层叠膜所在的平面的交点为所述待检测的层叠膜的外接圆的圆心。

在其中一个实施例中，所述中心成像装置为一个，所述周围成像装置为四个，所述周围成像装置以所述中心成像装置为中心环形均匀分布。

在其中一个实施例中，每个所述成像装置对应一个所述光源，每个所述光源发出的检测光线经所述待检测的层叠膜所在的平面反射后进入与所述光源对应的所述成像装置中。

在其中一个实施例中，五个所述光源分别设置于五个所述成像装置的下部。

在其中一个实施例中，所述成像装置能够沿所述待检测的层叠膜所在的平面的轴线移动。

在其中一个实施例中，所述层叠膜检测机还包括分析系统，所述分析系统与所述成像装置连接，所述分析系统用于处理所述成像装置获取的图像。

上述层叠膜检测机，包括光源和多个检测区域重合成像装置，多个所述成像装置对同一检测区域的成像角度各不相同；同检测区域、多角度的层叠膜检测机，可以同时接收多角度的经层叠膜透射或反射的检测光线，不仅提高了检测准确率，而且不需要人工的实时调整，从而避免了人工调整造成的检测结果不稳定的问题，同时提高了检测效率。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的层叠膜检测机结构示意图；

图2为本实用新型一实施例提供的层叠膜检测机结构主视示意图；

图3为本实用新型一实施例提供的层叠膜检测机局部放大示意图。

其中：

100-成像装置

110-中心成像装置

120-周围成像装置

200-光源

300-安装框

310-框体

320-中间梁

400-层叠膜

A-夹角

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下通过实施例，并结合附图，对本实用新型的层叠膜检测机进行进一步详细说明。