[实用新型]一种氮化镓多胞功率管结构

权利要求书

1.一种氮化镓多胞功率管结构，其特征在于，包括至少两个氮化镓功率单元，每个氮化镓功率单元均包括栅PAD、漏PAD、有源部分，有源部分包括栅指、源端、漏端、接地背孔，栅指通过馈电线与栅PAD连接，源端通过接地背孔与背面金属连通，漏端连接至漏PAD，至少两个氮化镓功率单元并排设置，在相邻的两个氮化镓功率单元的源端重叠，且在源端重叠之间设置有监测PAD，在至少两个氮化镓功率单元形成的氮化镓多胞功率管结构中，两端的氮化镓功率单元未重叠的源端下方也设置有监测PAD，所述监测PAD呈上下对称结构。

2.根据权利要求1所述的氮化镓多胞功率管结构，其特征在于，所述接地背孔设置为带倒圆角的长方形结构，且与源端尺寸相匹配。

3.根据权利要求2所述的氮化镓多胞功率管结构，其特征在于，所述长方形结构的长为50-70μm，宽为25-35μm。

4.根据权利要求1所述的氮化镓多胞功率管结构，其特征在于，在相邻的两个氮化镓功率单元的栅PAD之间设置薄膜电阻。

5.根据权利要求1所述的氮化镓多胞功率管结构，其特征在于，在所述至少两个氮化镓功率单元形成的多胞功率管结构的四周围绕布置划片道。

6.根据权利要求1所述的氮化镓多胞功率管结构，其特征在于，所述氮化镓功率单元为多栅指器件，栅指长为0.45-0.6μm，栅指数目为8-12个，栅指宽为250-400μm，源端宽度为60-10μm，漏端宽度为25-35μm，源端、漏端间距为5-7μm，栅指、源端间距为1.0-2.0μm。