[实用新型]一种电子束发散角分布测量装置

权利要求书

1.一种电子束发散角分布测量装置，包括密封真空靶室(2)，在密封真空靶室(2)内安装有一个转换靶(4)，其特征在于：在所述密封真空靶室(2)内还安装有一个防散射遮光筒(5)，在密封真空靶室(2)上设置有与防散射遮光筒(5)对应的光线输出窗口(6)，还包括一个成像系统，电子束(1)轰击转换靶(4)后产生切伦科夫辐射光，切伦科夫辐射光进入防散射遮光筒(5)后通过光线输出窗口(6)输出，经过窄带滤光片(8)滤光后在成像系统上成像。

2.根据权利要求1所述的一种电子束发散角分布测量装置，其特征在于，所述的转换靶(4)包括支架座(401)，在支架座(401)上设置有支架框(402)，支架环(403)将石英薄片(404)固定在支架框(402)上。

3.根据权利要求1所述的一种电子束发散角分布测量装置，其特征在于，所述的转换靶(4)采用叠放的靶环压环(411)、橡皮垫(412)、橡皮圈(413)、薄膜(414)、靶环座(415)配合后形成一体结构。

4.根据权利要求1所述的一种电子束发散角分布测量装置，其特征在于，所述的转换靶(4)安装在一个旋转光具座(17)上，还包括一个用于调整旋转光具座(17)转换靶(4)位置的旋钮调节机构(18)。

5.根据权利要求1所述的一种电子束发散角分布测量装置，其特征在于，在所述的密封真空靶室(2)内壁、防散射遮光筒(5)内壁均设置有防散射内框吸收层(3)。

6.根据权利要求1所述的一种电子束发散角分布测量装置，其特征在于，所述的成像系统整体安装在一个以转换靶(4)的中心位置为圆心的圆形导轨(14)上。

7.根据权利要求1所述的一种电子束发散角分布测量装置，其特征在于，所述的成像系统包括成像平台(13)，在成像平台(13)上设置有与窄带滤光片(8)对应的测量镜头(9)，测量镜头(9)的输出光线经过一个分光棱镜(10)，分光棱镜(10)的两路光线分别成像在相互垂直的两个ICCD相机(11)上，ICCD相机(11)置于成像平台(13)上的屏蔽铅围屋体(12)内。

8.根据权利要求1所述的一种电子束发散角分布测量装置，其特征在于，所述的成像系统包括成像平台(13)，在成像平台(13)上设置有与窄带滤光片(8)对应的测量镜头(9)，测量镜头(9)的输出光线成像在一个磨砂毛玻璃(15)后，再由分幅相机(16)成像，多幅分幅相机(16)置于成像平台(13)上的屏蔽铅围屋体(12)。