[实用新型]检查夹具及具备该检查夹具的检查装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，尤其涉及用于对电路基板等检查对象进行电检查的检查夹具及具备该检查夹具的检查装置。

背景技术

以往，在利用检查装置对电路基板等检查对象进行断路等电检查时，既可采用接触方式的检查方法，也可采用非接触方式的检查方法。

在非接触方式的检查方法中，通常是使电路基板等检查对象相对于检查装置包括的检查夹具配置于规定位置，并使检查夹具的探针与检查对象的检查部位(例如配线图案)接触，然后，经由探针对检查对象的检查部位供给过渡电压，以便由与检查对象等隔开间隔相向配置的传感器等检查部件检测出对应的电压，然后，将该检测出的电压经放大器放大后的峰值与规定的基准值进行比较，计算出差分，从而根据该差分是否落在规定范围内来判断检查对象是否出现了断路。

作为上述非接触方式的检查方法，例如在专利文献1、2中公开了相关的方法，特别地，专利文献2公开了一种即使是具有呈矩阵状配置的配线的触摸面板那样的检查对象也能实施检查的非接触方式的检查方法。

此外，在利用接触式的检查方法对检查对象进行电检查时，若检查对象具有柔性，则如专利文献3公开的那样，常常需要在利用夹持机构对检查对象进行适当夹持的状态下进行检查。

专利文献1：日本特许第5533169号公报

专利文献2：日本特许第2995716号公报

专利文献3：日本专利2014-228347号公报

然而，在利用非接触方式的检查方法进行检查时，传感器等检查部件的检测精度容易受到外部干扰(电磁干扰)的影响，尤其是在检查夹具带电时，存在检测精度容易变差的问题。

实用新型内容

本实用新型是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，在利用非接触方式的检查方法对检查对象进行检查时，有助于避免检查精度因检查部件的检测受到外部的干扰而降低。

为实现上述目的，本实用新型的第一方面提供一种检查夹具，其安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，所述检查装置具有对所述检查对象进行夹持的夹持机构，其中，所述检查夹具包括：板状部，该板状部接地；电压施加部，该电压施加部对所述检查对象施加过渡电压；以及检查部件，该检查部件设置于所述板状部，并且，该检查部件能以与所述检查对象隔开间隔相向的方式对所述检查对象上的检查部位进行检查，所述板状部具有缺口部，该缺口部在检查时供所述夹持机构的对所述检查对象进行夹持的夹持部伸入。

根据本实用新型第一方面的检查夹具，检查部件设置于接地的板状部，因此，即使检查部件以与检查对象隔开间隔相向的方式对检查对象上的检查部位进行非接触方式的检查，也能利用接地的板状部来减小外部干扰(电磁干扰)对检查部件的检查精度带来的不良影响。

此外，板状部具有缺口部，该缺口部在检查时供夹持机构的对检查对象进行夹持的部位伸入，因此，即使在检查时需要利用夹持机构对检查对象进行夹持，也不必为了避免在检查时板状部与夹持机构相互干涉而将板状部形成得较小，反过来说，可以确保板状部形成得较大，因此，能增强板状部的抗外部干扰的效果，提高检查部件的检查精度。

本实用新型第二方面的检查夹具是在本实用新型第一方面的检查夹具的基础上，在沿所述板状部的板厚方向观察时，所述板状部整体呈矩形，并且，所述缺口部设置于所述板状部的角部和/或所述板状部的相邻角部之间的中间部。

根据本实用新型第二方面的检查夹具，通过在呈矩形的板状部的外缘设置缺口部，能避免在检查时板状部与夹持机构相互干涉，与此同时，能尽可能地增大接地的板状部，因此，能增强板状部的抗外部干扰的效果，提高检查部件的检查精度。

本实用新型第三方面的检查夹具是在本实用新型第一方面的检查夹具的基础上，所述电压施加部包括：夹具头部；以及以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，其中，所述夹具头部包括：具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及贯穿所述检查侧贯通孔和所述电极侧贯通孔、前端从所述检查侧支承体突出而能够与所述检查对象接触、后端从所述电极侧支承体突出而与所述电极接触的多根探针。

根据本实用新型第三方面的检查夹具，能够根据需要实现对检查对象施加过渡电压。