[实用新型]质量流量控制器及流量控制系统

权利要求书

1.一种质量流量控制器，包括流量检测单元、流量调节单元和控制单元，其中，所述流量检测单元用于检测流体的瞬时质量流量，并将其发送至所述控制单元；所述控制单元根据所述瞬时质量流量和预设的目标质量流量向所述流量调节单元发送控制信号；所述流量调节单元根据所述控制信号调节所述流体的质量流量，其特征在于，所述流量检测单元包括层流元件和压差检测单元，其中，

所述层流元件用于使流经的流体处在层流状态；

所述压差检测单元用于检测所述层流元件中的气体压力信号，并将其发送至所述控制单元；所述控制单元根据所述气体压力信号计算获得所述流体的瞬时质量流量。

2.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述压差检测单元包括第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器和第二压力传感器设置在所述层流元件的两端，用以分别检测所述层流元件的入口端压力和出口端压力，并发送至所述控制单元；所述控制单元计算所述层流元件的入口端压力和出口端压力的差值，并根据所述差值和所述入口端压力计算获得所述流体的瞬时质量流量。

3.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述压差检测单元包括压力传感器和压差传感器，其中，

所述压力传感器设置在所述层流元件的入口端，用以检测所述层流元件的入口端压力，并发送至所述控制单元；

所述压差传感器用于检测所述层流元件两端的压差，并发送至所述控制单元；

所述控制单元根据所述压差和所述入口端压力计算获得所述流体的瞬时质量流量。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的质量流量控制器，其特征在于，所述层流元件包括管状安装座和设置在所述管状安装座中的多根分流直管，所述多根分流直管均沿所述管状安装座的轴向设置，并紧密排布形成管束。

5.根据权利要求4所述的质量流量控制器，其特征在于，所述多根分流直管围绕所述管状安装座的轴线紧密排布至少一周。

6.根据权利要求1-3任意一项所述的质量流量控制器，其特征在于，所述层流元件包括管状安装座和设置在所述管状安装座中的螺旋形微径管；

所述螺旋形微径管以所述管状安装座的轴线为中心，沿所述管状安装座的轴向螺旋缠绕而成。

7.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述流量调节单元设置在所述层流元件的入口端或者出口端。

8.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述质量流量控制器还包括通讯单元，所述通讯单元用于实现所述控制单元与上位机之间的信息交互。

9.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述控制单元包括微处理器、模数转换器和放大电路，其中，

所述放大电路用于放大来自所述压差检测单元的所述气体压力信号，并发送至所述模数转换器；

所述模数转换器用于将所述气体压力信号转换为数字信号并发送至所述微处理器；

所述微处理器对所述数字信号进行处理和计算，以获得所述流体的瞬时质量流量。

10.一种流量控制系统，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的质量流量控制器。