[实用新型]一种无飞线MEMS密度传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及传感器领域，更具体地说，涉及一种无飞线MEMS密度传感器。

背景技术

密度传感器可以用来测量物品尤其是液体的密度，MEMS密度传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，与传统的密度传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。

现有的类似专利：中国专利申请，申请号为：201210126237.5，授权公告日：2012.08.15，发明创造名称为：一种复合式MEMS密度传感器，该申请公开了一种复合式MEMS密度传感器，该专利的目的是传感器的悬臂梁芯片和驱动芯片通过硅硅键合技术封接在一起，可以有效减小传感器的封装尺寸；驱动磁场由圆形螺旋线圈通入恒定电流产生，通过改变恒定电流的大小可以快速有效地改变驱动磁场的磁感应强度，缺点是驱动芯片的制备工艺流程中采用了飞线设计，飞线是指排线由于经常受到按压，导致折叠部位断裂而接触不良，在断裂的两端用细的漆包线用烙铁焊接，飞线在MEMS密度传感器中的使用中易断裂而且不适用于高频线路。

实用新型内容

1．要解决的技术问题

针对现有技术中存在现有的MEMS密度传感器的驱动芯片部分使用飞线后易影响传感器工作的问题，本实用新型的目的在于提供一种无飞线MEMS密度传感器，它可以实现MEMS密度传感器的驱动芯片部分无飞线，且不会影响MEMS密度传感器的工作。

2．技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种无飞线MEMS密度传感器，包括MEMS密度传感器本体，所述MEMS密度传感器本体包括悬臂梁芯片和驱动芯片，所述驱动芯片上设有第一连接片和第二连接片，所述驱动芯片上设有固定槽，所述第一连接片和第二连接片分别位于固定槽的槽口处两侧，所述固定槽内设有金条，所述金条的两端均固定连接有金片，两个所述金片分别位于第一连接片和第二连接片的下端，且两个金片的上端分别与第一连接片和第二连接片固定连接，所述固定槽内固定连接有氮化硅层，所述金条位于氮化硅层内，两个所述金片相对的一端部与氮化硅层固定连接，通过在驱动芯片上设固定槽，使用氮化硅层将金条和金片固定在固定槽内，替换现有技术中使用的飞线，金条和金片不易断裂，而且适用于高频线路，不会影响到传感器的工作。

优选地，所述金片和金条的表面涂有绝缘层，绝缘层使金片和金条的表面绝缘性好，不会影响其他零件工作。

优选地，所述固定槽的内壁打磨光滑，光滑的内壁使固定槽与氮化硅层之间贴合更紧密，不易脱落。

3．有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

（1）本方案通过在驱动芯片上设固定槽，使用氮化硅层将金条和金片固定在固定槽内，替代现有技术中使用的飞线，金条和金片不易断裂，而且适用于高频线路，不会影响到传感器的工作。

（2）金片和金条的表面涂有绝缘层，绝缘层使金片和金条的表面绝缘性好，不会影响其他零件工作。

（3）固定槽的内壁打磨光滑，光滑的内壁使固定槽与氮化硅层之间贴合更紧密，不易脱落。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为现有技术传感器的正视图。

图中标号说明：

1悬臂梁芯片、2驱动芯片、3固定槽、4金条、5氮化硅层、6第一连接片、7第二连接片、8金片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图；对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例；而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：