[实用新型]四线金刚石电镀设备有效
申请号: | 201720293234.9 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN206623243U | 公开(公告)日: | 2017-11-10 |
发明(设计)人: | 胡文茂;侯庆国;喻金柱 | 申请(专利权)人: | 深圳市超晋达超声工程设备有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518110 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石 电镀 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及电镀设备领域,尤其涉及一种四线金刚石电镀设备。
背景技术
随着国家新能源战略计划的制定和实施及半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大,对硅片的厚度不断降低,对切割精度越来越高,从而对金刚石线锯的生产设备要求也越来越高。我国在对于硬脆材料的高精度切割还处理发展阶段,加工效率较低,生产成本过高,材料浪费较为严重。目前传统的对于硅晶体材料的切割多数还是采用游离磨料线锯切割技术,即边切割边向钢丝送带磨料的浆液。采用此种切割方法它主要是切割效率低,锯口损耗大,表面的粗糙度和面型较难出控制,且切割时所产生的废浆液污染较大,回收成本高,工作环境恶劣等等不足。
发明内容
针对上述技术中存在的不足之处,本实用新型提供一种自动化控制、生产效率高、安装及维护方便的四线金刚石电镀设备。
为实现上述目的,本实用新型提供一种四线金刚石电镀设备,包括恒张力四轴伺服放线机、设备外壳、恒张力四轴伺服排线收线机;所述设备外壳上依次安装有带导电的绕线滚筒传动机、混砂喷砂机、搅拌机和热处理炉;所述恒张力四轴伺服放线机进行放线并同时放出四条线材,四条线材依次经过绕线传动机、混砂喷砂机、搅拌机和热处理炉后由恒张力四轴伺服排线收线机进行排线收线;该设备还包括主控制器,所述主控制器分别与绕线滚筒传动机、混砂喷砂机、搅拌机和热处理炉电连接。
其中,所述绕线滚筒传动机包括传动伺服马达、传动机构、两个绕线滚筒和绕线整流机;所述两个绕线滚筒之间通过线材连接,所述传动伺服马达通过传动机构带动两个绕线滚筒做同步圆周运动;每个绕线滚筒的圆周上均匀分布有多根可拆卸且贯穿绕线滚筒轴向位置的导电杆,缠绕在每个绕线滚筒上的每条线材与导电杆呈点接触结构分布;每个绕线滚筒圆周中心设置有水银滑环,所述绕线整流机的负极通过线缆与水银滑环电连接,绕线后的线材移动至喷砂机内。
其中,所述混砂喷砂机包括呈上下层结构分布且用于放置线材的两个工艺槽和位于每个工艺槽内的多个喷砂管组,每个喷砂管组均由多根前后分布且相互平行的喷砂管组成;每个工艺槽的侧边均安装有与对应工艺槽内对应喷砂管组相连接的喷砂管连接管路,搅拌好的镀液用喷砂泵经对应的喷砂管连接管路输送到对应的喷砂管组内,并由喷砂管组喷到对应的工艺槽内;该机还包括混砂搅动机构和设置在安装在每个工艺槽内且位于每个喷砂管组的出口下方的移动拨架,所述混砂搅动机构与移动拨架驱动连接,混砂搅动机构驱动后,移动拨架带动对应的喷砂管组进行左右移动,并对工艺槽内的线材进行喷砂,喷砂完成后的移动至搅拌机内进行搅拌。
其中,所述搅拌机包括搅拌叶片、搅拌叶片连接轴、加热管、搅拌传动机构、输送泵、输送管路和用于放置线材的储备槽,所述储备槽、加热管、搅拌叶片和搅拌叶片连接轴均设置于一密闭箱体内;所述搅拌传动机构固定安装在密闭箱体顶部;所述输送泵安装在机架上且通过输送管路与储备槽连通;所述搅拌叶片为上下层结构且分为上搅拌大叶片和位于上搅拌大叶片下方的下搅拌小叶片;所述上搅拌大叶片和下搅拌小叶片均套接在搅拌叶片连接轴的底端且均沉入储备槽内,所述搅拌叶片连接轴的顶端与搅拌传动机构驱动连接;所述加热管固定安装在储备槽底部。
其中,所述恒张力四轴伺服放线机包括四个伺服放线装置、第一副控制器、四个恒张力调节装置和四个放线夹角偏移导线轮;每个伺服放线装置上均安装有放线轮,且每个伺服放线装置均与第一副控制器电连接,每个恒张力调节装置均安装在对应的放线轮上方,每个放线夹角偏移导线轮均安装在对应的恒张力调节装置上方;每个恒张力调节装置的侧边均安装有第一限位导线轮;每条线材先经过对应的放线夹角偏移导线轮上后,依次经过对应的恒张力调节装置和对应的第一限位导线轮后缠绕在对应的放线轮上进行放线;放线后的线材移动至绕线滚筒传动机上进行绕线。
其中,所述伺服放线装置包括第一伺服马达、放线减速器和放线传动轴,所述放线减速器安装在轴承箱的侧边,所述放线传动轴的一端穿过轴承箱侧边后置于轴承箱内,且所述放线传动轴的一端通过放线减速器与第一伺服马达驱动连接;所述放线轮通过绕线轮轴与放线传动轴的另一端固定连接后,放线轮与放线传动轴驱动连接;通过放线轮对其经过的线材进行放线。
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