[实用新型]用于MEMS图像传感器的像元阵列有效
| 申请号： | 201720290211.2 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN206627217U | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 赵照;葛鼎 | 申请（专利权）人： | 合肥芯福传感器技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/24 | 分类号： | G01J5/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 mems 图像传感器 阵列 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，由多个像元在二维平面上重复排列组成，所述像元包括衬底和微桥，所述微桥通过桥墩固定在衬底上，并通过桥墩中的引线将微桥上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，其特征在于：在所述像元阵列中，每个桥墩引出多个臂，同时与多个像元连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，其特征在于：所述每个桥墩引出2个臂，同时与两个像元连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，其特征在于：所述每个桥墩引出3个臂，同时与三个像元连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，其特征在于：所述每个桥墩引出4个臂，同时与四个像元连接。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，其特征在于：所述MEMS图像传感器为红外热成像传感器，所述像元阵列为红外焦平面阵列。
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