[实用新型]一种压力传感器

说明书

技术领域

本实用新型属于压力测量装置技术领域，具体地说涉及一种压力传感器。

背景技术

目前，压力传感器被用于航空航天领域发动机燃料管道压力的测量，该应用领域要求传感器具有很高的工作可靠性，具有优良的防潮性能、耐水压冲击性能和抗电磁干扰性能。其中，薄膜压力传感器是第三代压力传感器，采用溅射薄膜技术制备压力敏感元件，能满足高温、湿热、腐蚀、振动等恶劣环境下使用。由于薄膜压力传感器具有优异的稳定性和恶劣环境适应性，其在航空航天领域、石油工业及汽车领域得到了广泛应用。

应用在航空航天发动机上的薄膜压力传感器，需要在高温高湿环境、复杂的电磁环境下工作，且要承受发动机开关机瞬间产生的3～4倍的冲击压力。目前，薄膜压力传感器的敏感元件主要使用的应变材料是镍铬合金，镍铬合金在空气、水汽长时间作用下，合金组份中的铬容易被氧化成氧化铬，改变敏感元件应变电阻的阻值，导致传感器的防潮性能不佳，不适合恶劣环境下测量应变。另外，压力敏感元件过载压力一般为额定压力的1.5倍，不能满足耐水击压力的要求。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种压力传感器。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种压力传感器，包括封装在外壳中的敏感组件和放大组件，所述外壳的一端设有电连接器，所述敏感组件包括压力敏感元件、接头和支撑套，所述接头的一端嵌设有阻尼螺钉，其另一端分别与压力敏感元件、支撑套连接，所述压力敏感元件溅射有氮化钽薄膜，其表面涂覆有硅橡胶，所述压力敏感元件处键合连接第一出线板，所述第一出线板通过出线板压帽与支撑套连接，所述出线板压帽处还设有与第一出线板连接的第二出线板，所述第二出线板通过引线与放大组件连接。

进一步，所述放大组件包括印制板、信号处理电路和引出线，所述信号处理电路位于印制板上，所述引出线与印制板连接。

进一步，所述信号处理电路依次包括电源滤波电路、基准电压产生电路、输入滤波电路、仪表放大器电路和输出滤波电路，所述压力敏感元件位于基准电压产生电路、输入滤波电路之间，所述基准电压产生电路为压力敏感元件供电，所述电源滤波电路分别与基准电压产生电路、仪表放大器电路、输出滤波电路连接。

进一步，所述第一出线板与压力敏感元件通过硅铝丝键合，以实现电气连接。

进一步，所述第一出线板与第二出线板通过连接销连接。

进一步，所述接头与支撑套通过螺钉连接，所述接头与放大组件通过螺柱连接。

本实用新型的有益效果是：

1、压力敏感元件溅射有氮化钽薄膜，当压力敏感元件暴露在空气中时，氮化钽薄膜表面会形成一层氧化层，保护薄膜不受到侵蚀，提高防潮性能，适应高温高湿环境，压力敏感元件表面涂覆有硅橡胶，能够防止多余物接触压力敏感元件表面，起防潮作用，同时，在接头的一端嵌设阻尼螺钉，提高接头耐冲击压力的能力，提高传感器的过载压力。

2、在信号处理电路中设置输电源滤波电路、输入滤波电路和输出滤波电路，抑制电磁干扰信号，以适应复杂的电磁环境。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的敏感组件结构示意图；

图3是本实用新型的电原理框图。

附图中：1-外壳、2-敏感组件、201-接头、202-压力敏感元件、203-支撑套、204-第一出线板、205-出线板压帽、206-第二出线板、207-连接销、208-硅橡胶、3-放大组件、4-电连接器、5-阻尼螺钉、6-螺柱、7-螺钉；

图3中箭头方向表示电压信号传递方向。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本发明创造。

下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例一：