[实用新型]一种压力传感器有效
申请号: | 201720201900.1 | 申请日: | 2017-03-03 |
公开(公告)号: | CN206504811U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 胡宗亮;王鹏;刘哲;李强;徐江燕;刘军;刘欣 | 申请(专利权)人: | 青岛智腾微电子有限公司 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)11357 | 代理人: | 刘洪勋 |
地址: | 266000 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器,包括封装在外壳中的敏感组件和放大组件,所述外壳的一端设有电连接器,其特征在于:所述敏感组件包括压力敏感元件、接头和支撑套,所述接头的一端嵌设有阻尼螺钉,其另一端分别与压力敏感元件、支撑套连接,所述压力敏感元件溅射有氮化钽薄膜,其表面涂覆有硅橡胶,所述压力敏感元件处键合连接第一出线板,所述第一出线板通过出线板压帽与支撑套连接,所述出线板压帽处还设有与第一出线板连接的第二出线板,所述第二出线板通过引线与放大组件连接。
2.根据权利要求1所述的一种压力传感器,其特征在于:所述放大组件包括印制板、信号处理电路和引出线,所述信号处理电路位于印制板上,所述引出线与印制板连接。
3.根据权利要求2所述的一种压力传感器,其特征在于:所述信号处理电路依次包括电源滤波电路、基准电压产生电路、输入滤波电路、仪表放大器电路和输出滤波电路,所述压力敏感元件位于基准电压产生电路、输入滤波电路之间,所述基准电压产生电路为压力敏感元件供电,所述电源滤波电路分别与基准电压产生电路、仪表放大器电路、输出滤波电路连接。
4.根据权利要求1所述的一种压力传感器,其特征在于:所述第一出线板与压力敏感元件通过硅铝丝键合,以实现电气连接。
5.根据权利要求4所述的一种压力传感器,其特征在于:所述第一出线板与第二出线板通过连接销连接。
6.根据权利要求1所述的一种压力传感器,其特征在于:所述接头与支撑套通过螺钉连接,所述接头与放大组件通过螺柱连接。
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