[实用新型]一种氦气循环干燥净化系统

权利要求书

1.一种氦气循环干燥净化系统，包括进气端与工业生产设备的出气端相连的压缩机和第一端通过第一管道与压缩机的出气端相连的吸附塔，所述吸附塔的第二端通过第二管道与工业生产设备的进气端连接，其特征在于，所述吸附塔具有两个，在第二管道和两个吸附塔的第二端之间还设置有第三管道，在两个吸附塔的第一端与压缩机的进气端还设置有第四管道，第一管道、第二管道、第四管道与吸附塔的连通是可控的。

2.根据权利要求1所述的一种氦气循环干燥净化系统，其特征在于，所述第一管道在与每个吸附塔的连接处设置有第一控制阀门，所述第二管道在与每个吸附塔的连接处设置有第二控制阀门，所述第三管道在与每个吸附塔的连接处设置有第三阀门，所述第四管道在与每个吸附塔的连接处设置有第四控制阀门。

3.根据权利要求1或2所述的一种氦气循环干燥净化系统，其特征在于，在所述第一管道上设置有过滤器。

4.根据权利要求2所述的一种氦气循环干燥净化系统，其特征在于，在所述第三管道上设置有减压阀。

5.根据权利要求4所述的一种氦气循环干燥净化系统，其特征在于，所述第三阀门为单向阀，并且所述单向阀沿着进入到吸附塔的方向打开。

6.根据权利要求4所述的一种氦气循环干燥净化系统，其特征在于，在所述第三管道上还设置有加热器。

7.根据权利要求6所述的一种氦气循环干燥净化系统，其特征在于，在所述第三管道上且在减压阀和加热器之间还设置有换热器。

8.根据权利要求1所述的一种氦气循环干燥净化系统，其特征在于，在所述第四管道上设置有冻干机。

9.根据权利要求8所述的一种氦气循环干燥净化系统，其特征在于，在所述第四管道上且在冻干机之前还设置有换热器。

10.根据权利要求9所述的一种氦气循环干燥净化系统，其特征在于，位于所述第四管道上的换热器与位于第三管道上的换热器属于同一换热器。