[发明专利]一种双镀层键合铜丝的制备方法有效

专利信息
申请号: 201711482705.1 申请日: 2017-12-29
公开(公告)号: CN108198762B 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 崔成强;杨斌;赖韬;张昱 申请(专利权)人: 广东禾木科技有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/49
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 赵青朵
地址: 528225 广东省佛山市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀层 铜丝 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种双镀层键合铜丝的制备方法,包括以下步骤:

将铜芯依次进行粗拉丝、半精拉丝和精拉丝,得到铜丝;

将所述铜丝进行退火,然后依次电镀钯层和金层,再次退火,得到双镀层键合铜丝;

所述铜芯经过粗拉丝后的直径为450~550μm;

所述铜芯经过半精拉丝后的直径为100~150μm;

所述铜丝的直径为15~30μm;

所述铜芯包括99.991~99.996%的铜和0.004~0.009%的微量元素;所述微量元素包括银、铂、钙和锶;

所述退火的温度为470℃~490℃;所述退火的时间为40~60min;所述再次退火的温度为470℃~480℃;再次退火的时间为40~50min;

所述双镀层键合铜丝中钯层的厚度为0.1~0.2μm;所述双镀层键合铜丝中金层的厚度为0.1~0.2μm。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述双镀层键合铜丝由以下质量分数的组分组成:

铜95.0~97.5%、钯1.5~3.0%、金0.9~2.0%,其余为微量元素。

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