[发明专利]气体分析装置有效
申请号: | 201711480070.1 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108414449B | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
发明(设计)人: | A·德厄;C·格拉策;D·图姆波德 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/01;G01N21/61;G01N21/3504 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 郑立柱;张鹏 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 分析 装置 | ||
气体分析装置,包括:用于容纳待分析气体的气体腔;辐射源,被设置用于将电磁辐射发射到气体腔中,其中电磁辐射被设置用于选择性地激发待分析气体的分子;以及传感器,被设置用于侦测物理参量,物理参量包含关于由辐射源发射的电磁辐射与容纳在气体腔中的气体的相互作用程度的信息,其中辐射源包括:可电加热的扁平的辐射元件,被设置用于发射电磁辐射;以及壳体,具有扁平的第一和第二壳壁,这些壳壁在它们之间限定并直接邻接不透流体地与辐射源的周边环境分离的辐射元件容纳腔,在辐射元件容纳腔中具有比常压小的气压并且辐射元件的至少一个区段与第一和/或第二壳壁间隔布置,其中第一和/或第二壳壁对于从辐射源可发射的电磁辐射是可透射的。
技术领域
本发明的不同的实施方式总体上涉及气体分析装置。
背景技术
气体分析装置最近变得非常重要,这尤其是由于需要精确确定环境空气的组成。这种需求尤其是由于不断增加的环境污染。
气体分析装置能够被设置为借助于电磁辐射来激发有待分析的气体的气体分子,并且借助于传感器来确定电磁辐射与相应的气体分子的相互作用程度。在此,通常能够选择性地激发有待被确定浓度的气体的分子,从而可借助于传感器确定的相互作用程度是有待分析的气体的浓度的尺度。
为了能够保证选择性地激发有待分析的气体的气体分子,在辐射源(该辐射源被设置用于确定电磁辐射)与有待分析的气体之间必须确保明确限定的低热耦合,以便不会无意地激发其它气体的气体分子而使测量失真。
发明内容
因此本发明的任务在于,提供一种气体分析装置,利用该气体分析装置能够准确地确定有待分析的气体的组成。
根据本公开的一个方面,提供一种气体分析装置,该气体分析装置包括:用于容纳有待分析的气体的气体腔;辐射源,该辐射源被设置用于将电磁辐射发射到气体腔中,其中该电磁辐射被设置用于选择性地激发有待分析的气体的分子;以及传感器,该传感器被设置用于侦测物理参量,该物理参量包含信息,该信息关于由辐射源发射的电磁辐射与被容纳在气体腔中的气体的相互作用程度,其中所述辐射源包括:能够电加热的扁平的辐射元件,该辐射元件被设置用于发射电磁辐射;以及壳体,该壳体具有扁平的第一和第二壳壁,第一和第二壳壁在它们之间限定并且直接邻接不透流体地与辐射源的周边环境分离的辐射元件容纳腔,在该辐射元件容纳腔中具有相比于常压更小的气压,并且在该辐射元件容纳腔中使得辐射元件的至少一个区段与第一和/或第二壳壁间隔地布置,其中第一和/或第二壳壁对于从辐射源能够发射的电磁辐射是可透射的。
根据另一个方面,提供了一种用于制造前述的气体分析装置的辐射源的方法,该方法包括:在第一壳壁上形成辐射元件,在辐射元件的背离于第一壳壁的表面上形成第二壳壁;去除在辐射元件与第一壳壁和/或第二壳壁之间的材料,以用于制造辐射元件容纳腔,在该辐射元件容纳腔中布置有辐射元件的至少一个区段;在辐射元件容纳腔中建立气压,该气压低于常压;并且封闭该辐射元件容纳腔。
附图说明
在下文通过参照附图更加详细地说明本发明,其中:
图1是气体分析装置的示意图,
图2-11是用于在图1中所示的气体分析装置的辐射源的不同的实施方式的示意图,
图12示出了在图11中所示的辐射源被装配在电路板上的状态,
图13-23示出了用于制造示例性的辐射源的示例性的方法,并且
图24示出了用于制造示例性的辐射源的示例性的方法的流程图。
具体实施方式
下述的详细说明涉及用于阐明具体细节和实施方式而示出的附图,本发明在实践中能够采用这些具体细节和实施方式。
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