[发明专利]一种具有螺旋加热电极的绝缘衬底

权利要求书

1.一种具有螺旋加热电极的绝缘衬底，其包括能独立分开且结构相同的两部分，其特征在于，所述绝缘衬底中两部分的主体材料为绝缘材料，其中每个绝缘材料中包括半螺旋金属环，所述绝缘材料主体中包括凹槽，两部分叠置时半螺旋金属环之间形成螺旋金属线圈，两个凹槽之间形成绝缘衬底的空腔，叠置采用键合方法使两部分形成一整体，所述凹槽底部的绝缘材料中设置向两边延伸的引线，且所述引线在凹槽表面形成接触触点，所述螺旋金属线圈采用通电产生热的金属材料制成，作为加热线圈的同时用作电路的电感，所述电感用于探测变化的磁场，并且与控制器连接，从而通过变化的磁场实现对空腔内器件的控制；

两部分叠置后在绝缘衬底的两侧具有通孔，所述通孔将空腔与外界连通；

所述凹槽为矩形凹槽，两部分叠置时形成立方体空腔；

所述凹槽上设置气体传感器，所述气体传感器与所述凹槽底部中的引线连接；

所述凹槽中包括多个接触触点；

在每个接触触点上均设置气体传感器，所述气体传感器的电极分别连接至每个接触触点，且通过引线实现在绝缘衬底外部连接至气体传感器；

所述多个接触触点中的一个连接气体流通装置，通过外界引线向气体流通装置供电，从而实现空腔内气体的流通；

所述绝缘衬底的两部分形成方法包括将完整的环形线圈埋置于液态绝缘材料中，液态绝缘材料固化后沿环形线圈中心线切割，切割完成后形成两部分，每个部分分别打磨四周并刻蚀形成凹槽。