[发明专利]导电薄膜及薄膜电阻应变式压力传感器有效
| 申请号： | 201711406775.9 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN109959475B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 余飞;候晓伟;古荣治 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 石佩 |
| 地址： | 330100 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电 薄膜 电阻 应变 压力传感器 | ||
1.一种导电薄膜，其特征在于，包括：
基材，包括相对设置的第一表面及第二表面；
硬涂层，分别附着于所述第一表面及第二表面；及
金属层，分别附着于所述硬涂层远离所述基材的表面；
其中，所述硬涂层的水汽含量小于等于0.25％，所述水汽含量为所述硬涂层中水汽的重量占所述硬涂层的重量百分比。
2.根据权利要求1所述的导电薄膜，其特征在于，所述水汽含量范围为0.05％-0.2％。
3.根据权利要求1所述的导电薄膜，其特征在于，所述硬涂层为亚克力树脂材料，且包含纳米颗粒的金属氧化物。
4.根据权利要求1所述的导电薄膜，其特征在于，所述基材为聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜。
5.根据权利要求1所述的导电薄膜，其特征在于，所述导电薄膜沿长度方向的阻抗均一性小于3％。
6.根据权利要求5所述的导电薄膜，其特征在于，所述导电薄膜的老化温度为100-200摄氏度。
7.根据权利要求5所述的导电薄膜，其特征在于，所述导电薄膜的老化温度为200摄氏度。
8.根据权利要求7所述的导电薄膜，其特征在于，所述导电薄膜的老化速度为1-50m/min。
9.根据权利要求1所述的导电薄膜，其特征在于，所述金属层为铜镍合金金属层。
10.一种薄膜电阻应变式压力传感器，其特征在于，包括：
衬底；及
附着于所述衬底表面的应变电阻，所述应变电阻由上述权利要求1至9任一项所述的导电薄膜蚀刻形成。
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