[发明专利]一种用于石墨舟的预热箱

说明书

本发明公开了一种用于石墨舟的预热箱，包括盖板、预热箱主体和加热元件，预热箱主体包括顶板、后侧板和底板，盖板包括左侧板、右侧板和前侧板，顶板、后侧板、底板与左侧板、右侧板和前侧板围成一个放置石墨舟的空腔，加热元件设于该空腔内，底板的左侧、右侧和前侧分别设有左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁，左侧板、右侧板和前侧板分别支承于左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁上，前侧增高梁与左侧增高梁和右侧增高梁之间预留石墨舟通道，顶板左端面与左侧板的内侧面共面，顶板的右端面与右侧板的内侧面共面，盖板、预热箱主体之间设有驱动盖板沿后侧板升降的升降驱动。本发明具有专门针对石墨舟进行加热、占用空间小的优点。

技术领域

本发明涉及光伏制造领域中石墨舟加热工艺，尤其涉及一种用于石墨舟的预热箱。

背景技术

太阳能高效PERC电池(钝化发射极及背局域接触电池)的加工工艺主要包括：制绒，扩散，刻蚀，背钝化(平板PECVD)，表面镀膜(管式PECVD)，激光消融，丝印烧结，测试分选等9道工序。表面镀膜(管式PECVD)是生产太阳能电池片的核心工序之一，因此管式PECVD工序的时间长短直接影响电池片的产能。由于需要将石墨舟从常温加热到500℃才能进行表面镀膜，然后现阶段管式PECVD工序时间过长，工艺时间需要37-40分钟，不能适应现阶段大产能的需求。目前，也有采用普通的加热箱对石墨舟进行预热，然而普通的加热箱占用空间大，加热不均匀，不利于石墨舟这样长物体的进出。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种对专门针对石墨舟进行加热、占用空间小的用于石墨舟的预热箱。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种用于石墨舟的预热箱，包括盖板、预热箱主体和加热元件，所述预热箱主体包括连接成一体的顶板、后侧板和底板，所述盖板包括连接成一体的左侧板、右侧板和前侧板，所述预热箱主体的顶板、后侧板、底板与盖板的左侧板、右侧板和前侧板围成一个放置所述石墨舟的空腔，所述加热元件设于所述空腔内，所述底板的左侧、右侧和前侧分别设有左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁，所述左侧板、右侧板和前侧板分别支承于左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁上，所述前侧增高梁与左侧增高梁和右侧增高梁之间预留石墨舟通道，所述顶板左端面与左侧板的内侧面共面，所述顶板的右端面与右侧板的内侧面共面，所述盖板、预热箱主体之间设有驱动盖板沿后侧板升降的升降驱动。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述加热元件设置为两组，一组设于顶板上，一组设于底板上。

所述加热元件为红外灯管。

所述后侧板内侧面与前侧板内侧面均为反射面。

所述升降驱动包括升降气缸和设于升降气缸伸出端的连接板，所述连接板与盖板连接。

所述石墨舟通道内设有用于定位所述石墨舟的楔形定位块。

所述前侧板包括铝型材立柱、镜面钢、保温棉和外蒙皮，所述镜面钢固定在铝型材立柱上，所述保温棉夹于外蒙皮与镜面钢之间，所述左侧板与右侧板的结构与所述前侧板的结构相同。

所述左侧板、右侧板和前侧板之间通过L形衬条连接。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的用于石墨舟的预热箱，通过在设计一个专门用于加热石墨舟的预热箱，利用加热元件，在石墨舟进入管式PECVD设备前，对石墨舟进行预热，使石墨舟能够在短时间内温度迅速上升到200℃，然后把预热好的石墨舟放入PECVD炉管进行表面镀膜工艺，可以缩短工艺时间7分钟，预热箱尽可能缩短恒温时间，继而缩短蒸镀减发射膜的工艺时间，最终提高单台管式PECVD设备的整体产能，大大提升了产能；此外，本发明的预热箱，在满足强度、刚度、耐高温、功率等情况下，实现了预热箱打开总高度在650mm以下，满足了PECVD缓存台空间非常有限的要求。