[发明专利]自动搬运系统中无人移送装置的RF初始化设定方法

说明书

本发明涉及一种构建自动搬运系统的技术。即，无人移送装置中不另行设置端子，利用数据输入输出端子执行RF初始化设定处理，从而可以在使已设置的光通信方式无人移送装置结构改变实现最小化的同时还能构建RF通信方式的自动搬运系统。

技术领域

本发明涉及一种构建自动搬运系统的技术。即，在无人移送装置不另行设置端子，而利用数据输入输出端子执行RF初始化设定处理，从而在最小化针对已设置的光通信方式无人移送装置的结构改变的前提下，构建RF通信方式的自动搬运系统。

背景技术

一般来说，在半导体元件或液晶显示装置等的制造工艺中，使用自动搬运系统(自动物料搬送系统；AMHS)将制造物品移送至各制造工艺的制造装置后，相关物品就按照各制造装置的工艺完成制造。这种自动搬运系统利用无人移送装置将收纳有半导体基板或液晶基板的载体(carrier)移送至设置在制造工艺线上的各制造设备，之后再将在相关制造设备中完成相应工序的物品重新收纳并将其移送至下一个工艺的制造装置。

这种无人移送装置，根据移动方式的不同，包括：依靠车轮自动行驶的AGV(Automated Guided Vehicle；自动化导向车)；沿设置在地面的导轨行驶的RGV(RailGuided Vehicle；轨道导向车)；沿设置在顶棚的导轨行驶的OHT(Overhead HoistTransport；顶棚吊运装置)。这种无人移送装置分别在用本身的车轮或者沿设置在地面的导轨或沿设置在顶棚的导轨向相关制造设备移动后，再利用工作臂或升降机(hoist)及抓手将载体返送/搬入至相关制造设备。

所述载体的返送/搬入在对整条制造工艺线进行控制的主控制器控制下由分别搭载于无人移送装置和设置在制造工艺线上各制造设备内的主机(host computer)实施，由于在返送/搬入载体时有必要使无人移送装置和制造设备联动运转，所以在无人移送装置与制造设备这两方分别设置利用IR(红外线)的光通信方式的传输装置，从而发送及接收相互间必要的数据，由此顺利完成载体的返送/搬入。

图1是说明利用现有IR光通信方式的自动搬运系统的通信系统的示意图。采用这种方式进行通信的缺点在于，必须将无人移送装置与制造设备之间的通信单元尽可能设置在近距离。因此，为了与在顶棚运转的无人移送装置的通信单元进行IR光通信，制造设备的通信单元也必须同样设置在顶棚。

正是由于存在这种设置制约条件，通常从数千台制造设备向5m以上的顶棚设置较长的设备用通信单元的电缆，由此不仅会影响工厂内部的美观且给管理带来困难。而且，由于在不生成固有ID的情况下进行通信传输，因此相邻的通信装置之间还可能会产生干扰。

因此，考虑到上述光通信方式的缺点，将通信模块替换成RF(Radio-Frequency；射频)方式的情况下，可以通过ID传输数据，从而能够避免干扰问题，即使不将设备用通信单元设置在顶棚，无人移送装置与制造设备之间也能够进行通信。

图2是说明利用现有RF光通信方式自动搬运系统的通信系统的示意图。这种RF通信方式必须赋予每个制造设备固有的ID。因此，只有无人移送装置对相关制造设备的ID及通信信道信息进行识别，并且无人车控制器将其设置到RF通信模块中，才能够与制造设备进行通信。在这种情况下，各制造设备的通信模块中事先输入有自身的ID及通信信道信息。

另外，如图3所示，最近研发出了一种自动搬运系统，在无人移送装置中既配备有IR通信模块又配备有RF通信模块，从而可以选择性地使用光通信方式和RF通信方式。这种通信方式可以与制造设备的位置相对应地从光通信方式或者RF通信方式中选择使用一种，以最大限度地减少因周边环境而产生的干扰现象等因素导致的数据传输错误。

即，为了使无人移送装置与制造设备之间的数据收发更加准确，人们对RF通信方式自动搬运系统的要求呈现出日益增高的趋势。