[发明专利]一种基于工序关联关系的工艺缺陷风险分析方法

权利要求书

1.一种基于工序关联关系的工艺缺陷风险分析方法，其特征在于，包括：

S1：根据传统过程失效模式以及影响分析（PFMEA）分析各缺陷模式的风险优先数（RPN）；

S2：建立工艺缺陷模糊矩阵；

S3：模糊缺陷风险分析；

S4：建立缺陷间相互关联矩阵；

S5：建立关联风险分析模型；

其中，所述风险分析模型为：

其中，为相对风险，为每种缺陷的相对风险，g(i)为缺陷i的原因度；

，其中，t_c(i)表示第i种缺陷受到其它所有缺陷类型的影响度之和，t_r(i)表示第i种缺陷对其它所有缺陷类型的影响度之和；

所述步骤S2还包括：

S2.1：建立工艺缺陷评估矩阵；

S2.2：采用模糊术语对每个维度的指标进行评价；

S2.3：得出工艺缺陷模糊评估矩阵；

所述步骤S3还包括：

S3.1：对所述工艺缺陷模糊评估矩阵进行规范化处理；

S3.2：通过层次分析法确定权重向量，对规范化后的模糊矩阵进行加权，得到决策矩阵；

S3.3：根据TOPSIS理论，定义最大强度缺陷类型和最小强度缺陷类型，采用距离测度公式确定每种缺陷的相对风险；

所述步骤S4还包括：

S4.1：通过构造缺陷关系有向图建立缺陷之间直接影响关系矩阵；

S4.2：得出缺陷之间相对直接影响关系矩阵；

S4.3：求出缺陷综合影响矩阵，得出各缺陷对其它缺陷总的影响强度。

2.根据权利要求1所述的工艺缺陷风险分析方法，其特征在于，所述步骤S5还包括：

根据所述各缺陷对其它缺陷总的影响强度以及所述每种缺陷的相对风险得出工艺缺陷相对综合风险，建立关联综合风险分析模型。