[发明专利]一种黑硅制绒方法在审

专利信息
申请号: 201711348733.4 申请日: 2017-12-15
公开(公告)号: CN109935644A 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 李猛;颜续 申请(专利权)人: 浙江鸿禧能源股份有限公司
主分类号: H01L31/0236 分类号: H01L31/0236
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 314205 浙江省嘉*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 混合溶液 去离子水 氢氟酸 硝酸 硅片 黑硅 制绒 纳米级二氧化硅 高纯二氧化硅 太阳能电池片 纳米级绒面 氧化钾溶液 硅片表面 转换效率 反射率 纳米级 有效地 烘干 热风 高纯 沉积 盐酸 清洗
【说明书】:

发明公开了一种黑硅制绒方法,该方法具体实施步骤如下:将硅片放在加有高纯纳米级二氧化硅颗粒(固相/气相均包含在内)的硝酸和氢氟酸的混合溶液,使硅片表面沉积纳米级高纯二氧化硅颗粒;依次经过硝酸和氢氟酸的混合溶液、去离子水、氧化钾溶液、去离子水、氢氟酸和盐酸的混合溶液、去离子水清洗;最后使用热风进行烘干。本发明的有益效果是有效地降低硅片反射率,形成规则的纳米级绒面,提高太阳能电池片的转换效率。

技术领域

本发明涉及太阳电池制造领域,特别涉及一种黑硅制绒方法。

背景技术

在现有的硅片制绒技术中,普遍采用酸式制绒法,即依次通过硝酸和氢氟酸的混合液制绒、水洗、碱溶液、水洗、氢氟酸和盐酸混合液、水洗和烘干,实现在硅片表面制备蠕虫状的坑洞绒面。随着对晶硅太阳能电池片降低成本方面的不断深化研究,金刚线切割能够大幅度的降低多晶硅片的成本,但是采用上述传统的酸制绒技术导致制备的绒面反射率较高,光吸收能力降低,影响制备出的电池片的光电转换效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种黑硅制绒方法,达到降低硅片反射率,形成规则的纳米级绒面,提高太阳能电池片的转换效率。

为实现上述目的,本发明提供一种黑硅制绒方法,该方法具体实施步骤如下:

a、将硅片放在加有高纯纳米级二氧化硅颗粒A (固相/气相均包含在内)的硝酸和氢氟酸的混合溶液B中100~180秒,使硅片表面沉积纳米级高纯二氧化硅颗粒;其中高纯纳米级二氧化硅颗粒A的碳粉颗粒度为0.1~10nm,硅片表面沉积纳米级高纯二氧化硅颗粒A的厚度为2~8nm,混合溶液B中硝酸与氢氟酸的体积比例为:2:1:4:1,硝酸的体积比溶度为40~60%,氢氟酸的浓度为10~30%,溶液温度20~25℃。

b、使用硝酸和氢氟酸的混合溶液C对所述黑硅硅片进行清洗,然后用去离子水对所述硅片进行清洗。

c、使用氢氧化钾溶液D对所述黑硅硅片清洗,然后用去离子水对所述黑硅硅片进行清洗。

d、依次使用氢氟酸和盐酸的混合溶液E对所述黑硅硅片清洗,去离子水对所述黑硅硅片进行清洗。

e、使用热风对所述硅片进行烘干。

本发明的有益效果是有效地降低硅片反射率,形成规则的纳米级绒面,提高太阳能电池片的转换效率。

附图说明

图1为现有技术制备的多晶硅片的绒面图像

图2为采用本发明的技术方案的工艺流程图

图3为采用本发明的技术方案制备的绒面图像

图4为现有技术和本发明制备硅片的反射率对比图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的技术方案作进一步详细地说明。

在本实施方式中,分别采用本发明的技术方案和现有技术的技术方案进行实验,通过实验结果进行对比分析。

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