[发明专利]应用于柔性基板制作的涂布液供给装置

说明书

本发明公开了一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，包括外壳、设于所述外壳内的涂布液存储容器以及与所述外壳连通的真空发生装置，所述外壳上开设有涂布液进口、涂布液出口，所述涂布液存储容器同时与所述涂布液进口、所述涂布液出口连通，并与所述外壳围成密闭的腔体；所述真空发生装置与所述腔体连通，以对所述腔体加压使所述涂布液存储容器容积变小而将涂布液从所述涂布液出口压出。本发明的涂布液供给装置结构简单，涂布液不与气体压缩腔直接接触，无需对密闭腔体进行高精度的处理或研磨，制造成本低，不会产生微粒，且涂布液吐出流量大，可以适用于高世代的基板的制作。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置。

背景技术

柔性显示技术，作为FPD(Flat Panel Display，即平板显示)新兴领域之一，是未来OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)面板发展的大方向。

柔性基板衬底制作，是制作柔性OLED的前制程，直接关联和影响后续整个柔性制程品质。柔性基板衬底制作过程中，用到的主要有机涂布材料是液态PAA(Polyimide amicacid，PI制作前体，业界内一般称为PI solution，简称PI)、PET(Polyethyleneterephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯)和PEN(PENPolyethylene naphthalate，聚萘二甲酸乙二醇酯)等。

受限于柔性基板衬底材料特性(粘度特别高，通常为3000-10000CP)，柔性涂布设备的涂布液供给装置使用的泵需要非常大的推力，传统的涂布液供给装置通常使用活塞式压力泵吸入和压出涂布液，其活塞与腔体、涂布液直接接触，工作时来回往返动作，活塞与腔体的摩擦极易产生Particle(微粒)，然后混合在涂布液内造成产品不良。并且，活塞与腔体直接接触，为保证活塞工作时来回往返动作的顺畅度，需要对密闭腔体内部表面进行表面处理和高精度的研磨，导致活塞式压力泵制造时间长，生产成本高昂。另外，当其应用到高世代的基板制作时，涂布量非常大，活塞式压力泵的推力显得过小而不再适用。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，制造成本低、不会产生Particle，且涂布液吐出流量大。

为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，包括外壳、设于所述外壳内的涂布液存储容器以及与所述外壳连通的真空发生装置，所述外壳上开设有涂布液进口、涂布液出口，所述涂布液存储容器同时与所述涂布液进口、所述涂布液出口连通，并与所述外壳围成密闭的腔体；所述真空发生装置与所述腔体连通，以对所述腔体加压使所述涂布液存储容器容积变小而将涂布液从所述涂布液出口压出。

作为其中一种实施方式，所述涂布液存储容器的至少一部分为柔性材料制成。

作为其中一种实施方式，所述涂布液存储容器包括囊状的主体部分和分别连通所述主体部分不同部位的第一管道和第二管道，所述第一管道、所述第二管道分别与所述涂布液进口、所述涂布液出口连通。

作为其中一种实施方式，所述主体部分包括分别与所述第一管道、所述第二管道连通的两个缩口部分，越靠近临近的所述第一管道或所述第二管道，相应的所述缩口部分的截面积越小。

作为其中一种实施方式，所述外壳上还开设有空气进口、空气出口，所述空气进口、空气出口分别与所述真空发生装置连通。

作为其中一种实施方式，所述涂布液进口、所述涂布液出口分别设于所述外壳的两相对端，所述第一管道和第二管道分别设于所述主体部分的两端。

作为其中一种实施方式，所述涂布液进口与所述涂布液存储容器之间还设有用于防止所述涂布液存储容器内的涂布液在压力作用下朝所述涂布液进口回流的止回模块。