[发明专利]应用于柔性基板制作的涂布液供给装置有效
申请号: | 201711341240.8 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN108097545B | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 张纯 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B05C11/10 | 分类号: | B05C11/10 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;阳志全 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应用于 柔性 制作 涂布液 供给 装置 | ||
1.一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,包括外壳(10)、设于所述外壳(10)内的涂布液存储容器(20)以及与所述外壳(20)连通的真空发生装置(30),所述外壳(10)上开设有涂布液进口(11)、涂布液出口(12),所述涂布液存储容器(20)同时与所述涂布液进口(11)、所述涂布液出口(12)连通,并与所述外壳(10)围成密闭的腔体(100);所述真空发生装置(30)与所述腔体(100)连通,以对所述腔体(100)加压使所述涂布液存储容器(20)容积变小而将涂布液从所述涂布液出口(12)压出。
2.根据权利要求1所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,所述涂布液存储容器(20)的至少一部分为柔性材料制成。
3.根据权利要求2所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,所述涂布液存储容器(20)包括囊状的主体部分(21)和分别连通所述主体部分(21)不同部位的第一管道(22)和第二管道(23),所述第一管道(22)、所述第二管道(23)分别与所述涂布液进口(11)、所述涂布液出口(12)连通。
4.根据权利要求3所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,所述主体部分(21)包括分别与所述第一管道(22)、所述第二管道(23)连通的两个缩口部分,越靠近临近的所述第一管道(22)或所述第二管道(23),相应的所述缩口部分的截面积越小。
5.根据权利要求2所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,所述外壳(20)上还开设有空气进口(13)、空气出口(14),所述空气进口(13)、空气出口(14)分别与所述真空发生装置(30)连通。
6.根据权利要求3所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,所述涂布液进口(11)、所述涂布液出口(12)分别设于所述外壳(10)的两相对端,所述第一管道(22)和第二管道(23)分别设于所述主体部分(21)的两端。
7.根据权利要求1-6任一所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,所述涂布液进口(11)与所述涂布液存储容器(20)之间还设有用于防止所述涂布液存储容器(20)内的涂布液在压力作用下朝所述涂布液进口(11)回流的止回模块(110)。
8.根据权利要求7所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,所述止回模块(110)包括挡球(111)和挡板(112),所述挡板(112)自所述涂布液存储容器(20)内壁延伸出,所述挡球(111)在涂布液流向上可移动地设于所述挡板(112)与所述涂布液进口(11)之间,且所述挡球(111)的直径大于所述涂布液进口(11)。
9.根据权利要求8所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,所述挡板(112)相对于涂布液流向倾斜设置。
10.根据权利要求8所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置,其特征在于,所述挡板(112)上开设有供涂布液穿过的通孔(1120)。
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