[发明专利]一种自动化芯片条测试机

权利要求书

1.一种自动化芯片条测试机，其特征在于，包括一框架，所述框架上表面通过安装螺栓固定连接一运动耦合测试装置，所述运动耦合测试装置一侧通过安装螺栓固定连接多功能电源电表，所述框架内部设置有控制系统、控制计算机、光谱分析仪和电气柜，控制系统、控制计算机、光谱分析仪和电气柜均通过安装螺栓与框架固定连接；

所述运动耦合测试装置包括一精密隔振光学平台和XYZ轴载料台，所述精密隔振光学平台上表面通过安装螺栓固定连接XYZ轴载料台。

2.如权利要求1所述的自动化芯片条测试机，其特征在于，所述运动耦合测试装置进一步包括可调节探针台、影像系统和耦合测试台，XYZ轴载料台一侧设置耦合测试台，耦合测试台一侧设置可调节探针台，所述可调节探针台一侧设置影像系统，所述可调节探针台、影像系统和耦合测试台均通过安装螺栓与精密隔振光学平台固定连接。

3.如权利要求1所述的自动化芯片条测试机，其特征在于，所述XYZ轴载料台包括XYZ轴运动机构、水循环散热块、半导体制冷器、热敏电阻和温控载料基板，所述XYZ轴运动机构顶部通过安装螺栓固定连接所述水循环散热块，水循环散热块顶部一端通过安装螺栓固定连接半导体制冷器，半导体制冷器上方通过安装螺栓固定连接温控载料基板，温控载料基板内部设置热敏电阻。

4.如权利要求3所述的自动化芯片条测试机，其特征在于，所述温控载料基板上表面开设固定槽，用于放置待测芯片条。

5.如权利要求4所述的自动化芯片条测试机，其特征在于，所述固定槽内均匀开设多个微型真空孔，用于真空吸附固定待测芯片条。

6.如权利要求2所述的自动化芯片条测试机，其特征在于，所述耦合测试台位置与XYZ轴载料台位置相对应。

7.如权利要求2所述的自动化芯片条测试机，其特征在于，所述可调节探针台的位置与XYZ轴载料台的位置相对应。

8.如权利要求5所述的自动化芯片条测试机，其特征在于，所述多个微型真空孔呈一字型线性排列。

9.如权利要求3所述的自动化芯片条测试机，其特征在于，所述XYZ轴运动机构为精密步进马达。

10.如权利要求1所述的自动化芯片条测试机，其特征在于，所述框架的底部四角分别设置有支撑腿，所述支撑腿的内侧设置有活动轮。