[发明专利]一种基于电流变液的微流控减振芯片

权利要求书

1.一种基于电流变液的微流控减振芯片，其特征在于，包括微流动通道，平行板电极，进液口，出液口，储液腔和减振平台；所述的微流控芯片为密封腔式结构，其内部设有微流动通道；所述的微流动通道的两端分别设有进液口，出液口；所述的平行板电极位于位于储液腔到出液口的微流动通道的两侧；所述的储液腔位于微流动通道的转弯处。

2.所述的减振平台位于储液腔的上方。

3.根据权利要求1所述的一种基于电流变液的微流控减振芯片，其特征在于，所述的进液口连接两条微流动通道，两条微流动通道分别连接两个储液腔，所述的出液口的上游方向连接两条储液腔的通道，所述的微流动通道为矩形通道。

4.根据权利要求2所述的一种基于电流变液的微流控减振芯片，其特征在于，所述的平行板电极包括上平行板电极和下平行板电极，其对称设置在微流动通道的两侧，平行板电极产生的电场的方向与电流变液的流动方向垂直，平行板电极的数量为四对。

5.根据权利要求3所述的一种基于电流变液的微流控减振芯片，其特征在于，所述的储液腔位于微流动通道的转弯处，储液腔的形状为圆柱形，储液腔上表面的材料为PDMS（聚二甲基硅氧烷），储液腔的数量为四个。

6.根据权利要求4所述的一种基于电流变液的微流控减振芯片，其特征在于，所述的振动平台位于四个储液腔的正上方，振动平台的下表面与储液腔的上表面粘合。