[发明专利]基于金属多层介质膜的偏振选择反射式光栅

权利要求书

1.一种用于1550纳米中心波长的基于金属多层介质膜的偏振选择反射式光栅，其特征在于，包括自内向外依次镀制的石英基底（1）、金属层（2）、匹配层（3）和光栅刻蚀层（4），所述光栅刻蚀层（4）包括自内向外依次镀制的第一低折射率膜层（41）和第一高折射率膜层（42），所述匹配层（3）包括自内向外依次镀制的第二低折射率膜层（31）与第二高折射率膜层（32），所述光栅刻蚀层（4）的周期为1200～1300纳米，占空比为0.2～0.4，第一低折射率膜层（41）的厚度为100～160纳米，第一高折射率膜层（42）的厚度为240～310纳米，第二高折射率膜层（32）的厚度为90～150纳米；第二低折射率膜层（31）的厚度为240～300纳米，所述的金属层（2）的厚度大于50纳米。

2.根据权利要求1所述的基于金属多层介质膜的偏振选择反射式光栅，其特点在于，所述的第一高折射率膜层（42）与第二高折射率膜层（32）的材料为Si，TiO2，HfO2或Ta2O5，所述第一低折射率膜层（41）与第二低折射率膜层（31）的材料为SiO2。

3.根据权利要求1所述的基于金属多层介质膜的偏振选择反射式光栅，其特点在于，所述的金属层（2）的材料为金、银或铝。