[发明专利]压电薄膜传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201711249555.X 申请日: 2017-12-01
公开(公告)号: CN109873074B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 陈雄;朱彪;梁海;郑洁;刘涛;王丽 申请(专利权)人: 深圳市豪恩声学股份有限公司
主分类号: H10N30/045 分类号: H10N30/045;H10N30/06;H10N30/87;H10N30/88;H10N30/00;H10N30/30;H01L23/552
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 张全文
地址: 518000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 压电 薄膜 传感器 及其 制备 方法
【说明书】:

发明属于传感器技术领域,尤其涉及一种压电薄膜传感器及其制备方法,包括如下步骤:S1:提供PET膜并打孔处理;S2:将PET膜的正表面分设为导电区和绝缘区,于导电区上印刷银浆线路,于绝缘区上印刷绝缘油;S3:于PET膜背表面印刷屏蔽材料;S4:于银浆线路上涂覆导电胶;S5:提供FPC电路板,将FPC电路板贴合固定于PET膜;S6:在FPC电路板与PET膜的接合处印刷胶水并烘干;S7:提供压电薄膜并在其两面贴合固定PET膜;S8:对压电薄膜和PET膜进行切割;S9:对压电薄膜进行定点极化;S10:对压电薄膜和PET膜进行翻转对折。通过对压电薄膜进行定点极化,这样便显著降低了压电薄膜的极化成本。

技术领域

本发明属于传感器技术领域,尤其涉及一种压电薄膜传感器及其制备方法。

背景技术

压电薄膜传感器作为一种动态应变传感器,由于其适于植入于人体皮肤表面或人体内部的特点而可进行生命信号监测,故其始终是业内不断关注的研究热点。

目前,现有技术中制备压电薄膜传感器的方法主要是将整片压电薄膜进行均匀极化,以使得压电薄膜传感器具备压电功能。然而,这样就会在压电薄膜传感器无需极化的部位也进行了极化处理,无法节约压电薄膜传感器的极化成本,造成资源的浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种压电薄膜传感器及其制备方法,旨在解决现有技术中压电薄膜传感器极化成本高的技术问题。

为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:一种压电薄膜传感器的制备方法,包括如下步骤:

S1:提供PET膜,所述PET膜包括相对设置的正表面和背表面,于所述PET膜上开设孔并使所述孔贯穿至所述正表面和所述背表面;

S2:将所述PET膜的所述正表面分设为导电区和绝缘区,于所述导电区上印刷银浆线路并烘干处理,再于所述绝缘区上印刷绝缘油;

S3:于所述PET膜的所述背表面印刷屏蔽材料;

S4:于所述导电区上的所述银浆线路上涂覆导电胶;

S5:提供FPC电路板,将所述FPC电路板贴合固定于所述PET膜的侧端,并将所述FPC电路板与所述银浆线路电性连接;

S6:在所述FPC电路板与所述PET膜的接合处印刷胶水并烘干处理;

S7:提供压电薄膜,在所述压电薄膜的相对两面均贴合固定所述PET膜印刷有所述银浆线路的一面;

S8:对所述压电薄膜和所述PET膜进行切割处理以形成压电传感器外形;

S9:对所述压电薄膜对应所述银浆线路的部分进行定点极化;

S10:对所述压电薄膜和所述PET膜进行翻转对折处理以形成压电传感器。

进一步地,所述屏蔽材料为导电碳浆。

进一步地,对所述胶水进行烘干处理的温度区间为90℃~140℃。

进一步地,所述PET膜的厚度为0.01mm~0.10mm。

进一步地,所述FPC电路板通过热压的方式贴合固定于所述PET膜的侧端。

进一步地,所述压电薄膜为PQ50压电薄膜。

进一步地,所述压电薄膜为PVDF压电薄膜。

进一步地,通过激光机对所述PET膜和所述压电薄膜进行切割处理以形成所述压电薄膜传感器的外形。

进一步地,所述导电胶为异方性导电胶。

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