[发明专利]压电薄膜传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711249555.X | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN109873074B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 陈雄;朱彪;梁海;郑洁;刘涛;王丽 | 申请（专利权）人： | 深圳市豪恩声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/045 | 分类号： | H10N30/045;H10N30/06;H10N30/87;H10N30/88;H10N30/00;H10N30/30;H01L23/552 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种压电薄膜传感器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1：提供PET膜，所述PET膜包括相对设置的正表面和背表面，于所述PET膜上开设孔并使所述孔贯穿至所述正表面和所述背表面；
S2：将所述PET膜的所述正表面分设为导电区和绝缘区，于所述导电区上印刷银浆线路并烘干处理，再于所述绝缘区上印刷绝缘油；
S3：于所述PET膜的所述背表面印刷屏蔽材料；
S4：于所述导电区上的所述银浆线路上涂覆导电胶；
S5：提供FPC电路板，将所述FPC电路板贴合固定于所述PET膜的侧端，并将所述FPC电路板与所述银浆线路电性连接；
S6：在所述FPC电路板与所述PET膜的接合处印刷胶水并烘干处理；
S7：提供压电薄膜，在所述压电薄膜的相对两面均贴合固定所述PET膜印刷有所述银浆线路的一面；
S8：对所述压电薄膜和所述PET膜进行切割处理以形成压电传感器外形；
S9：所述PET膜为半透明状薄膜，透过所述PET膜准确定位所述压电薄膜上需要极化的电位，对所述压电薄膜对应所述银浆线路的部分进行定点极化；
S10：对所述压电薄膜和所述PET膜进行翻转对折处理以形成压电传感器。
2.根据权利要求1所述的压电薄膜传感器的制备方法，其特征在于：所述屏蔽材料为导电碳浆。
3.根据权利要求1所述的压电薄膜传感器的制备方法，其特征在于：对所述胶水进行烘干处理的温度区间为90℃～140℃。
4.根据权利要求1所述的压电薄膜传感器的制备方法，其特征在于：所述PET膜的厚度为0.01mm～0.10mm。
5.根据权利要求1所述的压电薄膜传感器的制备方法，其特征在于：所述FPC电路板通过热压的方式贴合固定于所述PET膜的侧端。
6.根据权利要求1所述的压电薄膜传感器的制备方法，其特征在于：所述压电薄膜为PQ50压电薄膜。
7.根据权利要求1所述的压电薄膜传感器的制备方法，其特征在于：所述压电薄膜为PVDF压电薄膜。
8.根据权利要求1所述的压电薄膜传感器的制备方法，其特征在于：通过激光机对所述PET膜和所述压电薄膜进行切割处理以形成所述压电薄膜传感器的外形。
9.根据权利要求1～8任一项所述的压电薄膜传感器的制备方法，其特征在于：所述导电胶为异方性导电胶。
10.一种压电薄膜传感器，其特征在于：所述压电薄膜传感器根据权利要求1～9任一项所述的压电薄膜传感器的制备方法制备而成。
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