[发明专利]双台光配向装置及配向方法在审
申请号: | 201711244708.1 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN109856862A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 徐亚磊;朱树存 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工件台 第一工件 驱动单元 配向区域 配向装置 驱动单元配置 照明单元 控制器 待机位 配向 往返 工件台运动 控制器控制 驱动 安全距离 互不干涉 配向处理 移动 配置 | ||
本发明提供了一种双台光配向装置,包括:照明单元、第一工件台、第二工件台、第一驱动单元、第二驱动单元和控制器,照明单元配置为形成配向区域,第二工件台高于第一工件台的高度,第一驱动单元配置为驱动第一工件台往返于第一待机位和配向区域之间,第二驱动单元配置为驱动第二工件台往返于第二待机位和配向区域之间,控制器分别与第一驱动单元和第二驱动单元连接,以使得第一工件台与第二工件台互不干涉。本发明提供的一种双台光配向装置及配向方法,设定两工件台高度使得工件不在同一高度,通过控制器控制各工件台运动,能够使进行去路或归路移动的工件台与另一方工件台之间不受安全距离的约束,能够高效地进行光配向处理。
技术领域
本发明涉及光配向领域,尤其是一种双台光配向装置及配向方法。
背景技术
近年来,以液晶面板为首的液晶显示元件的取向膜、视场角补偿膜的配向层的配向处理,采用通过照射规定波长的偏振光来进行配向的方法被称为光配向技术。
在光配向中使用的光配向装置包括:光源;偏振元件,使用来自该光源的光,对沿与光源的长边方向正交的方向被搬运的工件照射偏振光。
在现有技术中,为了提高光配向效率,公开了一种双工件台方式的光配向装置,具体包括:能够在设定于配向区域的一侧的第一待机位与配向区域之间往返移动的第一工件台;以及能够在设定于配向区域的另一侧的第二待机位与配向区域之间往返移动的第二工件台。通过使用第一工件台和第二工件台交替地朝配向区域移动,并对工件台上的工件照射光。
然而,仅仅使一方的工件台的归路移动开始时刻与另一方工件台的去路移动开始时刻同步移动,可能会导致工件台产生干涉,影响光配向的效率。通常,为了不产生干涉,需在两个工件台间预留足够的安全距离,一个工件在配向时,另一方距离配向区域距离很远,当配向完毕时,进行另一个配向需等待较长的时间间隔,延长了光配向装置的空闲时间,进而降低了光配向的效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种双台光配向装置及配向方法,以解决现有双台光配向装置双工件台可能存在干涉进而影响光配向效率的问题。
为了达到上述目的,本发明实施例提供了一种双台光配向装置,包括:照明单元、第一工件台、第二工件台、第一驱动单元、第二驱动单元和控制器,所述照明单元配置为形成配向区域,所述第二工件台高于第一工件台的高度,所述第一驱动单元配置为驱动所述第一工件台往返于第一待机位和所述配向区域之间,所述第二驱动单元配置为驱动所述第二工件台往返于第二待机位和所述配向区域之间,所述控制器分别与所述第一驱动单元和第二驱动单元连接,以使得所述第一工件台与第二工件台互不干涉。
进一步地,所述控制器配置为控制所述第一工件台和第二工件台在配向区域内分别以第一速度运动,在配向区域以外的区域分别以比第一速度高的第二速度运动。
进一步地,所述第一工件台的第一待机位和第二工件台的第二待机位分别位于所述照明单元的两侧。
进一步地,所述控制器配置为控制所述第一工件台及第二工件台在所述配向区域内分别以第一速度运动,在所述配向区域外的归路以比上述第一速度高的第二速度运动,在所述配向区域外的去路,以比所述第一速度高的第二速度从第一待机位或第二待机位移动到相应的停止位,所述停止位分别设置在第一待机位或第二待机位与配向区域之间,且处于归路移动的一方工件台在折返回归时,另一方工件台从相应的待机位或相应的停止位进行去路移动,且另一方工件台以所述第一速度或者以与所述一方工件台相同的速度移动。
进一步地,所述第一工件台在第一待机位与第一折返位之间往返运动,所述第二工件台在第二待机位与第二折返位之间往返运动,所述第一折返位位于所述配向区域与第二待机位之间,所述第二折返位位于所述配向区域与第一待机位之间,所述第一工件台的第一停止位位于所述第一待机位和第二折返位之间,所述第二工件台的第二停止位位于所述第二待机位和第一折返位之间。
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