[发明专利]双台光配向装置及配向方法在审
申请号: | 201711244708.1 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN109856862A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 徐亚磊;朱树存 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工件台 第一工件 驱动单元 配向区域 配向装置 驱动单元配置 照明单元 控制器 待机位 配向 往返 工件台运动 控制器控制 驱动 安全距离 互不干涉 配向处理 移动 配置 | ||
1.一种双台光配向装置,其特征在于,包括:照明单元、第一工件台、第二工件台、第一驱动单元、第二驱动单元和控制器,所述照明单元配置为形成配向区域,所述第二工件台高于第一工件台的高度,所述第一驱动单元配置为驱动所述第一工件台往返于第一待机位和所述配向区域之间,所述第二驱动单元配置为驱动所述第二工件台往返于第二待机位和所述配向区域之间,所述控制器分别与所述第一驱动单元和第二驱动单元连接,以使得所述第一工件台与第二工件台互不干涉。
2.如权利要求1所述的双台光配向装置,其特征在于,所述控制器配置为控制所述第一工件台和第二工件台在所述配向区域内分别以第一速度运动,在所述配向区域以外的区域分别以比所述第一速度高的第二速度运动。
3.如权利要求1所述的双台光配向装置,其特征在于,所述第一待机位和所述第二待机位分别位于所述照明单元的两侧。
4.如权利要求3所述的双台光配向装置,其特征在于,所述控制器配置为控制所述第一工件台及第二工件台在所述配向区域内分别以第一速度运动,在所述配向区域外的归路以比所述第一速度高的第二速度运动,在所述配向区域外的去路,以所述第二速度从所述第一待机位或所述第二待机位移动到相应的停止位,所述停止位分别设置在所述第一待机位或所述第二待机位与所述配向区域之间,且处于归路移动的一方工件台在折返回归时,另一方工件台从相应的停止位进行去路移动,且所述另一方工件台以所述第一速度或者以与所述一方工件台相同的速度移动。
5.如权利要求4所述的双台光配向装置,其特征在于,所述第一工件台在所述第一待机位与第一折返位之间往返运动,所述第二工件台在所述第二待机位与第二折返位之间往返运动,所述第一折返位位于所述配向区域与第二待机位之间,所述第二折返位位于所述配向区域与第一待机位之间,所述第一工件台的第一停止位位于所述第一待机位和第二折返位之间,所述第二工件台的第二停止位位于所述第二待机位和第一折返位之间。
6.如权利要求1所述的双台光配向装置,其特征在于,还包括导轨单元,所述第一工件台和第二工件台分别设置在所述导轨单元上,所述第一驱动单元配置为驱动所述第一工件台在导轨单元上运动,所述第二驱动单元配置为驱动所述第二工件台在导轨单元上运动。
7.一种双台光配向方法,其特征在于,包括:
提供一配向区域;
控制第一工件台往返于第一待机位和所述配向区域之间;
控制第二工件台往返于第二待机位和所述配向区域之间,第二工件台高于第一工件台的高度;
判断所述第一工件台和第二工件台的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台和第二工件台运动或停止在相应的停止位处。
8.如权利要求7所述的双台光配向方法,其特征在于,判断所述第一工件台和第二工件台的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台和第二工件台运动或停止在相应的停止位处包括:
判断所述第一工件台或第二工件台是否位于配向区域内,若是,则控制所述第一工件台或第二工件台在配向区域内以第一速度运动,若否,则控制所述第一工件台或第二工件台在配向区域以外的区域以第二速度运动,其中,第二速度比第一速度高。
9.如权利要求7所述的双台光配向方法,其特征在于,判断所述第一工件台和第二工件台的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台和第二工件台运动或停止在相应的停止位处包括:判断所述第一工件台或第二工件台是否处于归路;
并在判断为是时,继续判断所述第一工件台或第二工件台是否位于配向区域内,若判断位于配向区域内,则控制所述第一工件台或第二工件台在配向区域内以第一速度运动,若判断位于配向区域之外,则控制所述第一工件台或第二工件台在配向区域外以第一速度运动,其中,第二速度比第一速度高。
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