[发明专利]一种长线列探测器的塑封方法有效
申请号: | 201711236302.9 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN107958845B | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 陈于伟;伍明娟;唐志辉 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人: | 王海军 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 长线 探测器 塑封 方法 | ||
本发明涉及一种用于长线列探测器的塑封方法,其特征在于,包括如下步骤:采用贴片工艺和压焊工艺将长线列探测器与陶瓷载体完成常规封装;将封装完毕的长线列探测器和陶瓷载体放入塑料模具中,露出部分管脚;通过安装夹具的位置调整,完成长线列探测器与陶瓷载体相对位置的固定;最后通过在塑料模具中添加塑封胶,加热固化完成长线列探测器的塑封操作。本发明方法成本低廉、工艺操作简单,成品率高,适合基础科研和小规模塑封生产硅基光电探测器。
技术领域
本发明涉及半导体封装技术领域,尤其涉及一种长线列探测器的塑封方法。
背景技术
随着无线通信、汽车电子和其他消费电子产品的快速发展,对微电子封装技术提出了小型化、低成本、高可靠设计的需求。塑料封装以其独特的优势成为当前微电子封装的主流,约占封装市场的95%以上。塑封产品的广泛应用,也为塑料封装带来了前所未有的发展。
塑封微电路因其商业上的含义而没有被考虑应用于航天设备中。近年来,塑封微电路在航天设备中的使用已逐渐增加,预计还会继续增加。塑封微电路代替军用器件的趋势已引起人们的注意。对塑封探测器的需求也提上了历史日程,它在尺寸、重量、成本和性能上的优点促使人们将其用于航天设备中。
在常规的塑封中,探测器尺寸通常在5.00mmx5.00mmx0.03mm以内,加上封装外壳,塑封后整个尺寸通常在7.00mmx7.00mmx2.00mm以内。另一方面,产品塑封的区域主要为探测器表面及键合引线部分,只对探测器和部分引线进行保护,这样的设计对探测器稳定性的保护有较大的局限性。
塑封主要是为了维护本身的气密性,并保护不受周围环境中湿度与温度的影响,以及防止电子组件受到机械振动、冲击产生破损而造成组件特性的变化。因此,塑封的目的有下列几点:
(1)防止湿气等由外部侵入;
(2)以机械方式支持导线;
(3)有效地将内部产生的热排出;
(4)提供能够手持的形体。
作为塑封关键原材料,塑封胶的选型尤为重要。塑封胶大部分都采用环氧树脂。它具有的一般特性包括成形性、耐热性、良好的机械强度及电器绝缘性。同时为防止对塑封产品的特性劣化,环氧树脂的热膨胀系数要小,水蒸气的透过性要小,不含对探测器有影响的不纯物,引线脚(LEAD)的接着性要良好。单纯的一种树脂要能完全满足上述特性是很困难的,因此大多数树脂中均加入填充剂、偶合剂、硬化剂等而成为复合材料来使用。一般说来环氧树脂比其它树脂更具有优越的电气性、接着性及良好的低压成形流动性,并且具备相当的可靠性,因此成为最常用的半导体塑封材料。根据产品应用需求,塑封胶的选型是整个塑封工艺的关键环节。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种成本低廉、工艺操作简单,成品率高,适合基础科研和小规模生产的硅基光电探测器塑封方法。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种用于长线列探测器的塑封方法,包括如下步骤:
采用贴片工艺和压焊工艺将长线列探测器与陶瓷载体完成常规封装;
将封装完毕的长线列探测器和陶瓷载体放入塑料模具中,露出部分管脚;
通过安装夹具的位置调整,完成长线列探测器与陶瓷载体相对位置的固定;
最后通过在塑料模具中添加塑封胶,加热固化完成长线列探测器的塑封操作。
所述在上述技术方案的基础上,本发明还可以做如下改进。
进一步,所述安装夹具包括:底座、横梁,所述底座为带凹槽的平板,凹槽尺寸与塑料模具尺寸匹配,所述底座两侧为横梁支撑件,所述支撑件高度与探测器塑封高度对应。
进一步,所述支撑件中心设置有安装槽,所述横梁通过安装槽与支撑件实现活动安装。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造