[发明专利]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

衬底；

第一振膜、第二振膜，所述第一振膜、第二振膜之间形成密封腔；

背极单元，所述背极单元位于密封腔内且与第一振膜、第二振膜构成电容器结构，所述背极单元上设置有多个贯通其两侧的通孔，所述背极单元为一背极板，在所述背极板上设置有所述通孔，所述背极板通过第一支撑部支撑连接在所述第二振膜的上方，所述第一振膜通过第二支撑部支撑连接在所述背极板的上方，所述第一支撑部、所述第二支撑部采用绝缘的材质；

其中，在所述密封腔内填充有粘滞系数小于空气的气体；

所述气体为异丁烷、丙烷、丙烯、H₂、乙烷、氨、乙炔、乙基氯、乙烯、CH₃Cl、甲烷、SO₂、H₂S、氯气、CO₂、N₂O、N₂中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述密封腔与外界环境的压力一致。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述密封腔的压力为一个标准大气压。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述密封腔与外界环境的压差小于0.5atm。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述密封腔与外界环境的压差小于0.1atm。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一振膜、第二振膜分别与背极单元之间的间隙为0.5-3μm。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：在所述第一振膜与第二振膜之间还设置有支撑柱，所述支撑柱穿过背极单元上的通孔且其两端分别与第一振膜、第二振膜连接在一起。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述支撑柱的材料与第一振膜和/或第二振膜的材料相同。

9.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述支撑柱选用绝缘材料。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述背极单元包括用于与第一振膜构成电容器结构的第一背极板，以及用于与第二振膜构成电容器结构的第二背极板；在所述第一背极板与第二背极板之间设置有绝缘层。

11.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述密封腔是在常温和常压环境下进行密封的。

12.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：还包括贯通第一振膜、第二振膜的泄压孔，所述泄压孔的孔壁与第一振膜、第二振膜围成了所述的密封腔。

13.根据权利要求12所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述泄压孔设置有一个，其位于第一振膜、第二振膜的中部位置；或者是，所述泄压孔设置有多个。