[发明专利]探针卡装置及其信号传输模块

说明书

本发明公开一种探针卡装置及其信号传输模块，探针卡装置包含转接板、位于转接板一侧的定位座体、及设置于定位座体的多个矩形探针。转接板包含有多个电性接点，每个矩形探针包含有穿出定位座体的第一接触段与第二接触段，多个矩形探针的第一接触段分别抵接于多个电性接点。每个第一接触段与相对应电性接点的连接为凹凸配合且能在相对位移量(10微米以下)内保持接触，以使每个第一接触段与相对应电性接点的相对位置能在相对位移量内被调整，而令多个矩形探针的第二接触段末端缘彼此对齐，借以有效地提升探针卡装置的量测精准度。

技术领域

本发明涉及一种侦测装置，尤其涉及一种探针卡装置及其信号传输模块。

背景技术

如图1所示，现有的探针卡装置100a是以多个探针2a的一端连接于转接板1a上的呈突出状的多个电性接点11a，但由于上述多个探针2a所存在着长度上的公差以及转接板1a上的多个电性接点11a在高度上的公差，使得所述多个探针2s另一端的共面度不佳，进而影响到现有探针卡装置100a对于待测物的量测精准度。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种探针卡装置及其信号传输模块，其能有效地改善现有探针卡装置所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种探针卡装置，包括：一转接板，包含有一板面及位于所述板面的多个电性接点；一定位座体，对应设置于多个所述电性接点的一侧；以及多个矩形探针，设置于所述定位座体，并且每个所述矩形探针包含有位于相反两侧且穿出所述定位座体的一第一接触段与一第二接触段，并且多个所述矩形探针的所述第一接触段分别抵接于多个所述电性接点；其中，每个所述第一接触段与相对应的所述电性接点之间的连接为凹凸配合且能在一相对位移量内保持彼此接触，以使每个所述第一接触段与相对应所述电性接点的相对位置能在所述相对位移量内被调整，而令多个所述矩形探针的所述第二接触段末端缘彼此对齐；其中，所述相对位移量为10微米以下。

优选地，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述电性接点包含有一凹槽，所述第一接触段的一自由端部于所述相对位移量内可移动地插设于所述凹槽，并且所述自由端部抵接于所述凹槽的内侧壁，而所述自由端部与所述凹槽的槽底相隔有一距离。

优选地，所述探针卡装置进一步包含有设置于多个所述电性接点的所述凹槽内的多个缓冲体；其中，于每个所述矩形探针、相对应所述电性接点、及相对应所述缓冲体中，所述缓冲体受压迫地抵接于所述自由端部以及所述凹槽的所述槽底。

优选地，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述电性接点突伸出所述板面，并且所述凹槽自所述电性接点的末端面凹设所形成。

优选地，所述转接板包含有一基板、位于所述基板上的多个金属垫、覆盖于所述基板的一绝缘层、及分别连接于多个所述金属垫的多个金属镀层；其中，所述绝缘层的外表面定义为所述板面，所述绝缘层形成有分别裸露多个所述金属垫的多个通孔，多个所述金属镀层镀设于多个所述通孔的内侧壁，并且每个所述金属垫及相连接的所述金属镀层合并定义为一个所述电性接点并且共同包围形成有所述凹槽。

优选地，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述自由端部的宽度小于所述电性接点的宽度。

优选地，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述自由端部包含有两个接触臂，并且两个所述接触臂之间的距离，其由所述第二接触段朝向所述第一接触段的方向逐渐地增加。

优选地，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述电性接点包含有突伸出所述板面的一凸块，所述矩形探针的一自由端部形成有一凹槽，并且所述凹槽于所述相对位移量内可移动地套设在所述凸块，而所述凸块与所述凹槽的槽底相隔有一距离。

优选地，所述相对位移量进一步限定为5微米以下。