[发明专利]探针卡装置及其信号传输模块

权利要求书

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：

一转接板，包含有一板面及位于所述板面的多个电性接点；

一定位座体，对应设置于多个所述电性接点的一侧；以及

多个矩形探针，设置于所述定位座体，并且每个所述矩形探针包含有位于相反两侧且穿出所述定位座体的一第一接触段与一第二接触段，并且多个所述矩形探针的所述第一接触段分别抵接于多个所述电性接点；

其中，每个所述第一接触段与相对应的所述电性接点之间的连接为凹凸配合且能在一相对位移量内保持彼此接触，以使每个所述第一接触段与相对应所述电性接点的相对位置能在所述相对位移量内被调整，而令多个所述矩形探针的所述第二接触段末端缘彼此对齐；其中，所述相对位移量为10微米以下。

2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述电性接点包含有一凹槽，所述第一接触段的一自由端部于所述相对位移量内可移动地插设于所述凹槽，并且所述自由端部抵接于所述凹槽的内侧壁，而所述自由端部与所述凹槽的槽底相隔有一距离。

3.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置进一步包含有设置于多个所述电性接点的所述凹槽内的多个缓冲体；其中，于每个所述矩形探针、相对应所述电性接点、及相对应所述缓冲体中，所述缓冲体受压迫地抵接于所述自由端部以及所述凹槽的所述槽底。

4.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述电性接点突伸出所述板面，并且所述凹槽自所述电性接点的末端面凹设所形成。

5.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，所述转接板包含有一基板、位于所述基板上的多个金属垫、覆盖于所述基板的一绝缘层、及分别连接于多个所述金属垫的多个金属镀层；其中，所述绝缘层的外表面定义为所述板面，所述绝缘层形成有分别裸露多个所述金属垫的多个通孔，多个所述金属镀层镀设于多个所述通孔的内侧壁，并且每个所述金属垫及相连接的所述金属镀层合并定义为一个所述电性接点并且共同包围形成有所述凹槽。

6.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述自由端部的宽度小于所述电性接点的宽度。

7.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述自由端部包含有两个接触臂，并且两个所述接触臂之间的距离，其由所述第二接触段朝向所述第一接触段的方向逐渐地增加。

8.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针及相对应所述电性接点中，所述电性接点包含有突伸出所述板面的一凸块，所述矩形探针的一自由端部形成有一凹槽，并且所述凹槽于所述相对位移量内可移动地套设在所述凸块，而所述凸块与所述凹槽的槽底相隔有一距离。

9.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述相对位移量进一步限定为5微米以下。

10.一种探针卡装置的信号传输模块，其特征在于，所述探针卡装置的信号传输模块包括：

一转接板，包含有一板面及位于所述板面的多个电性接点；以及

多个矩形探针，各包含有位于相反两侧的一第一接触段与一第二接触段，并且多个所述矩形探针的所述第一接触段分别抵接于多个所述电性接点；

其中，每个所述第一接触段与相对应的所述电性接点之间的连接为凹凸配合且能在一相对位移量内保持彼此接触，以使每个所述第一接触段与相对应所述电性接点的相对位置能在所述相对位移量内被调整，而令多个所述矩形探针的所述第二接触段末端缘彼此对齐；其中，所述相对位移量为10微米以下。