[发明专利]一种延长ALD真空计使用寿命的方法

权利要求书

1.一种延长ALD真空计使用寿命的方法，其特征在于，所述方法为：对真空计电磁阀进行间断关闭控制；

所述方法具体步骤包括：

(1)在ALD未进行沉积工作时，将真空计电磁阀打开；

(2)当ALD开始沉积工作时，利用真空计电磁阀检测系统的真空度；

(3)开启真空计控制系统，当系统真空度达到设定的要求时，且数据稳定后，关闭电磁阀；

(4)一段时间后短暂打开电磁阀以监测系统真空度，保证系统的真空度在设定值范围内；

所述真空计的控制是用以PLC控制器为基础的，采用PID闭环控制方式进行，其中真空计电磁阀通过RS232或RS485串口与PLC控制器连接。

2.根据权利要求1所述的一种延长ALD真空计使用寿命的方法，其特征在于，所述的ALD真空计包括电极、传感器、灯丝。

3.根据权利要求1所述的一种延长ALD真空计使用寿命的方法，其特征在于，所述步骤(3)的真空度数据稳定是指，系统内的真空度与设定值偏差≤5％。

4.根据权利要求1所述的一种延长ALD真空计使用寿命的方法，其特征在于，所述的步骤(4)中，一段时间指1-10min。

5.根据权利要求1所述的一种延长ALD真空计使用寿命的方法，其特征在于，所述的步骤(4)中，短暂打开电磁阀是指每次打开时间为1-10s。

6.权利要求1-5任一项所述的一种延长ALD真空计使用寿命的方法，其特征 在于，所述的ALD设备包括反应室(1)，四通管道(2)，真空泵阀门(3)，热阱(4)，真空计(5)，真空计电磁阀(6)。