[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其对板状的被加工物照射激光光线而实施加工，其中，

该激光加工装置具有：

盒工作台，其载置对多个被加工物进行收纳的盒；

搬出单元，其将被加工物从载置于该盒工作台的盒中搬出；

暂放单元，其对通过该搬出单元搬出的该被加工物进行暂放；

搬送单元，其将被加工物从该暂放单元搬送至卡盘工作台；

拍摄单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物的要加工的区域进行检测；

X轴方向移动单元，其对该卡盘工作台在X轴方向上进行加工进给；

Y轴方向移动单元，其对该卡盘工作台在与X轴方向垂直的Y轴方向上进行分度进给；以及

激光光线照射单元，其包含对该卡盘工作台所保持的被加工物照射激光光线的聚光器，

该X轴方向移动单元包含：

移动基台，其对该卡盘工作台进行支承；

X轴工作台，其具有X轴导轨，该X轴导轨沿X轴方向引导该移动基台；以及

驱动源，其使该移动基台移动，

该Y轴方向移动单元包含：

Y轴导轨，其沿Y轴方向引导该X轴工作台；以及

驱动源，其使该X轴工作台移动，

该移动基台由碳纤维增强塑料构成，并且在该移动基台上仅设置有该卡盘工作台和使该卡盘工作台旋转的圆筒部件，

在该卡盘工作台的下表面形成有用于嵌插于该圆筒部件的圆形凸部，在该圆筒部件的底部形成有在该圆形凸部嵌插于该圆筒部件时用于对该卡盘工作台进行吸引保持的吸气孔。