[发明专利]一种低反射、高透光玻璃及其镀膜工艺

权利要求书

1.一种低反射、高透光玻璃及其镀膜工艺，其特征在于：所述的一种低反射、高透光玻璃及其镀膜工艺包括以下步骤：

(1)在开始镀膜制备时，将个工作平台彻底清洁干净，保证无任何可视杂物；

(2)打开冷却循环水泵，保证仪器的工作温度处于恒定状态；

(3)在清洗槽中放入各种清洗液，然后将大小尺寸相同的透明硅基玻璃放入清洗槽中进行进行，并利用超声波进行超声清洗；

(4)然后将清洗干净的玻璃运输到真空清洗室中进行进一步的清洗，其清洗过程使用的水为去离子水，和特种清洁剂进行清洗，并且利用超声进行超声清洗；

(5)将清洗干净的玻璃运输到真空干燥箱中进行干燥；

(6)在真空镀膜室中的坩埚中放入，要镀膜的镀膜物质，然后开启机械抽气泵，5-8min后打开低真空控制阀门，将烘干的玻璃运输到真空镀膜室中进行镀膜，将玻璃固定在镀膜架上，然后调节防护罩，使其防护罩住镀膜架上的玻璃，然后待抽空15-30min后打开热偶加热管，然后观察真空室压强，当真空室的压强降低到0.0002-0.0005Pa时，打开电磁阀开关及扩散泵，1-1.5min后，观察温度是否升高到设定值，如果升高后，关闭低真空阀.开启高真空阀，5-10min后开启规管，当真空镀膜空间内压强达到0.00004-0.00008Pa时维持此压强调节，然后进行镀膜，将待镀膜玻璃进行加热，调试稳压器和热电偶，使基片烘烤温度达120-150℃的温度，然后，缓慢调节灯丝电压和灯丝电流，然后逐渐增加加速极管电压至8-12KV，其增速在10-20V/S的速度进行增加，在此期间通过目视镜观察坩埚里面的物料的状态变化情况，当看到坩埚内物质完全融化，且有蒸气产生，开大抽真空系统，进行继续抽真空，提高系统的真空度，保持其真空压强在0.00004-0.00008Pa，5-10min后，打开防护罩，使坩埚里面的蒸汽接触到被镀膜的玻璃板，按照所需镀膜的厚度决定镀膜时间；

(7)达到镀膜的厚度后，将镀膜好的玻璃板，运输到真空冷却室中进行冷却，而真空镀膜间中又开始镀膜下一批次的玻璃板，带镀膜好的玻璃板冷却至室温时，然后进行面涂，然后待面涂干燥后采用水染着色，对处理后的产品进行包装，然后进行储存，此产品就是低反射、高透光玻璃。

2.根据权利要求1所述的一种低反射、高透光玻璃及其镀膜工艺，其特征在于，所述的步骤(3)和(4)超声清洗次数为，清洗次数在2-5次。

3.根据权利要求1所述的一种低反射、高透光玻璃及其镀膜工艺，其特征在于，所述的步骤(2)干燥的温度和时间，其干燥温度在80-100℃，时间1-2h。

4.根据权利要求1所述的一种低反射、高透光玻璃及其镀膜工艺，其特征在于，所述的步骤(6)的灯丝电压和灯丝电流为，灯丝电压达到220-380V左右，电流达到5-20A。

5.根据权利要求1所述的一种低反射、高透光玻璃及其镀膜工艺，其特征在于，所述的步骤(6)的真空度为，保持其真空压强在0.00004-0.00008Pa。

6.根据权利要求1所述的一种低反射、高透光玻璃及其镀膜工艺，其特征在于，所述的步骤(6)的镀膜时间为，控制在1-5h。