[发明专利]一种基片底座多供料机构

权利要求书

1.一种基片底座多供料机构，其特征在于，包括震动供料部，所述震动供料部的出料端上设置有中转平台，所述中转平台上设置有入料槽，所述入料槽的两侧边上设置有推料板和出料口，所述出料口一侧设置有转载载具，所述转载载具上设置有至少两个限位槽，所述转载载具底部设置有平移气缸，所述转载载具上方设置有移栽机械手，所述移栽机械手包括移栽安装平台，所述移栽安装平台底部设置有多个气缸夹手，所述移栽安装平台顶部设置有移栽伸缩气缸，所述移栽伸缩气缸通过移栽连接臂与移栽动力平台连接。

2.如权利要求1所述的基片底座多供料机构，其特征在于，所述限位槽的底边上设置有第一避让口，所述推料板位于限位槽一侧的侧边上设置有第二避让口，所述推料板与限位槽配合形成第一半封闭腔，所述第一避让口和第二避让口配合避让气缸夹手的指部。

3.如权利要求2所述的基片底座多供料机构，其特征在于，所述中转平台一侧还设置有延伸护板，所述延伸护板与限位槽配合形成第二半封闭腔，所述延伸护板上设置有第三避让口，所述第三避让口第一避让口配合避让气缸夹手的指部。

4.如权利要求1所述的基片底座多供料机构，其特征在于，所述限位槽和入料槽的槽口上均设置有导向斜面。

5.如权利要求1所述的基片底座多供料机构，其特征在于，所述移栽动力平台包括移栽无杆气缸和两个平行设置的导向轨道，所述移栽连接臂通过移栽滑动座与两个导向轨道连接，所述移栽滑动座还与移栽无杆气缸连接。

6.如权利要求5所述的基片底座多供料机构，其特征在于，所述导向轨道两端上还设置有缓冲器。