[发明专利]一种微显示器件修补方法及微显示器件有效
申请号: | 201711137764.5 | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN107910289B | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 牛小龙;翁守正;徐相英;孙龙洋;姜晓飞 | 申请(专利权)人: | 歌尔股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L27/15 |
代理公司: | 北京太合九思知识产权代理有限公司 11610 | 代理人: | 刘戈 |
地址: | 261031 山东省潍坊*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 器件 修补 方法 | ||
本发明实施例提供一种微显示器件修补方法及微显示器件,其中,修补方法包括:在剥离衬底后的TFT背板上覆盖倒模层并压实,以在倒模层上形成与TFT背板上缺失LED颗粒对应的若干个凹陷结构;将带有若干个凹陷结构的倒模层从TFT背板上剥离下来并倒置于衬底上;去除若干个凹陷结构倒置形成的凸起结构,以使若干个凹陷结构对应的衬底位置裸露;在裸露的衬底位置上生长LED颗粒,以获得修补用衬底结构;去除修补用衬底结构上的倒模层,并将修补用衬底结构与TFT背板重新键合,以获得修补后的TFT背板。本发明实施例仅需一个衬底即可实现LED颗粒缺失位置的识别以及精准修补,修补效率高且大大节省了制造成本。
技术领域
本发明涉及液晶显示技术领域,尤其涉及一种微显示器件修补方法及微显示器件。
背景技术
Micro LED技术,即LED微缩化和矩阵化技术,是在一个芯片上集成的高密度微小尺寸的LED阵列,如LED显示屏每一个像素可定址、单独驱动点亮,可看成是户外LED显示屏的微缩版,将像素点距离从毫米级降低至微米级。Micro LED优点表现的很明显,它继承了无机LED的高效率、高亮度、高可靠度及反应时间快等特点,并且具有自发光无需背光源的特性,更具节能、机构简易、体积小、薄型等优势。
对于应用Micro LED技术的微显示器件,在制造过程中,由于Micro LED是以TFT背板驱动,因此,需要将LED颗粒从衬底键合到TFT背板上,键合后再将衬底剥离,在剥离衬底时部分LED颗粒可能会被衬底带走,导致TFT背板上的LED矩阵存在缺陷。
目前,一种解决方案是以增大键合强度的方式改进工艺,但这不能彻底解决剥离衬底后会带走部分LED颗粒的问题。另一种解决方案是用静电拾取头进行后续单个修补,但效果不理想,修补效率低且成本较大。
发明内容
本发明的目的是提供一种微显示器件修补方法,以解决现有技术在进行微显示器件制造时,修补效率低且修补成本大的问题。
为解决现有技术中的技术问题,本发明实施例提供一种微显示器件修补方法,包括:
在剥离衬底后的TFT背板上覆盖倒模层并压实,以在所述倒模层上形成与所述TFT背板上缺失LED颗粒对应的若干个凹陷结构;
将带有所述若干个凹陷结构的所述倒模层从所述TFT背板上剥离下来并倒置于所述衬底上;
去除所述若干个凹陷结构倒置形成的凸起结构,以使所述若干个凹陷结构对应的衬底位置裸露;
在裸露的所述衬底位置上生长LED颗粒,以获得修补用衬底结构;
去除所述修补用衬底结构上的所述倒模层,并将所述修补用衬底结构与所述TFT背板重新键合,以获得修补后的TFT背板。
可选地,所述在剥离衬底后的TFT背板上覆盖倒模层,包括:
在剥离衬底后的TFT背板上均匀覆盖对LED颗粒没有粘性的倒模层材料;
当所述倒模层材料的覆盖厚度达到预设厚度时,对所述倒模层材料进行固化处理,以形成所述倒模层;
其中,所述倒模层在所述TFT背板上缺失LED颗粒的位置形成凹陷结构。
可选地,所述预设厚度等于LED颗粒的厚度。
可选地,所述在所述剥离衬底后的TFT背板上均匀覆盖倒模层材料,包括:
在所述剥离衬底后的TFT背板上均匀喷涂所述倒模层材料。
可选地,所述倒模层材料为可塑性材料。
可选地,所述对所述倒模层材料进行固化处理,包括采用以下任一种固化处理方式:
将所述倒模层置于包含有固化剂的气体环境中进行固化处理;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造