[发明专利]一种光学镀膜膜厚监测装置

说明书

技术领域

本发明涉及厚度监测设备领域，本发明涉及一种光学镀膜膜厚监测装置。

背景技术

镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜，或镀一层金属膜，目的是改变材料表面的反射和透射特性。在可见光和红外线波段范围内，大多数金属的反射率都可达到78％～98％，但不可高于98％。无论是对于CO2激光，采用铜、钼、硅、锗等来制作反射镜，采用锗、砷化镓、硒化锌作为输出窗口和透射光学元件材料，还是对于YAG激光采用普通光学玻璃作为反射镜、输出镜和透射光学元件材料，都不能达到全反射镜的99％以上要求。不同应用时输出镜有不同透过率的要求，因此必须采用光学镀膜方法。由于光学镀膜的厚度普遍较薄，因此其厚度比较难以测量，目前我国使用的薄膜厚度测量装置只能够对点厚度进行测量，不能对物品表面厚度进行连续测量，由于薄膜厚度在不同位置并不相同，因此测量结果较为不准确。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光学镀膜膜厚监测装置。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：

一种光学镀膜膜厚监测装置，包括底部固定吸盘、装置金属壳体、电子束发生箱、电子束发射头、抽真空机、装置主腔体、干燥热电偶，所述底部固定吸盘上方设置有所述装置金属壳体，所述装置金属壳体上方设置有所述电子束发生箱，所述电子束发生箱上方设置有所述电子束发射头，所述电子束发射头上方安装有装置压力表，所述装置压力表上方安装有所述抽真空机，所述抽真空机上方安装有所述装置主腔体，所述装置主腔体上方安装有所述干燥热电偶，所述干燥热电偶下方安装有气体干燥箱，所述气体干燥箱下方安装有真空度监测器，所述真空度监测器下方安装有厚度测算箱,所述厚度测算箱下方安装有操作控制箱，所述操作控制箱下方安装有液晶显示面板。

本实施例中，所述电子束发射头包含聚焦调节器、电子束运输管、电子振荡管、加热电离箱、温度调节器，所述聚焦调节器下方安装有电子束运输管，所述电子束运输管下方安装有所述电子振荡管，所述电子振荡管下方安装有所述加热电离箱，所述加热电离箱下方安装有所述温度调节器。

本实施例中，所述厚度测算箱包含信号发射器、信号放大器、衰减测量器、微型控制器、湿度感应器、湿度调节器、工作指示灯，所述信号发射器下方安装有所述信号放大器，所述信号放大器下方安装有所述衰减测量器，所述衰减测量器下方安装有所述微型控制器，所述微型控制器下方安装有所述湿度感应器，所述湿度感应器下方安装有所述湿度调节器，所述湿度调节器上方安装有所述工作指示灯。

本实施例中，所述底部固定吸盘与所述装置金属壳体连接，所述电子束发生箱与所述电子束发射头连接。

本实施例中，所述装置压力表与所述抽真空机连接，所述装置主腔体与所述干燥热电偶连接。

本实施例中，所述气体干燥箱9设置在所述干燥热电偶8顶部，所述操作控制箱12与所述液晶显示面板13连接。

本实施例中，所述装置金属壳体由合金钢压制而成，表面进行抛光处理，厚度为5mm。

本实施例中，所述厚度测算箱11垂直设置于所述真空度监测器10下方,并通过管道与所述电子束发生箱3连接。

本实施例中，所述聚焦调节器与所述电子束运输管连接，所述电子振荡管与所述电子束运输管连接，所述加热电离箱正对所述温度调节器。

本实施例中，所述信号放大器1102与所述信号发射器1101连接，所述衰减测量器1103与所述微型控制器1104连接,所述湿度感应器1105与所述湿度调节器1106连接，所述工作指示灯1107设置在所述厚度测算箱11底部。

本发明的有益效果在于：采用电子束对薄膜厚度进行测量，可以进行连续测量，以平均厚度作为薄膜厚度测量的结果，测量结果准确，工作效率高。

附图说明

图1是本发明所述一种光学镀膜膜厚监测装置的主视结构简图；

图2是本发明所述一种光学镀膜膜厚监测装置的左视结构简图；

图3是本发明所述一种光学镀膜膜厚监测装置的电子束发射头主视结构简图；

图4是本发明所述一种光学镀膜膜厚监测装置的厚度测算箱主视结构简图。附图标记说明如下：