[发明专利]一种光学镀膜膜厚监测装置

权利要求书

1.一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：包括底部固定吸盘(1)、装置金属壳体(2)、电子束发生箱(3)、电子束发射头(4)、抽真空机(6)、装置主腔体(7)、干燥热电偶(8)，所述底部固定吸盘(1)上方设置有所述装置金属壳体(2)，所述装置金属壳体(2)上方设置有所述电子束发生箱(3)，所述电子束发生箱(3)上方设置有所述电子束发射头(4)，所述电子束发射头(4)上方安装有装置压力表(5)，所述装置压力表(5)上方安装有所述抽真空机(6)，所述抽真空机(6)上方安装有所述装置主腔体(7)，所述装置主腔体(7)上方安装有所述干燥热电偶(8)，所述干燥热电偶(8)下方安装有，所述气体干燥箱(9)下方安装有真空度监测器(10)，所述真空度监测器(10)下方安装有厚度测算箱(11),所述厚度测算箱(11)下方安装有操作控制箱(12)，所述操作控制箱(12)下方安装有液晶显示面板(13)。

2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：所述电子束发射头(4)包含聚焦调节器(401)、电子束运输管(402)、电子振荡管(403)、加热电离箱(404)、温度调节器(405)，所述聚焦调节器(401)下方安装有所述电子束运输管(402)，所述电子束运输管(402)下方安装有所述电子振荡管(403)，所述电子振荡管(403)下方安装有所述加热电离箱(404)，所述加热电离箱(404)下方安装有所述温度调节器(405)。

3.根据权利要求1所述的一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：所述厚度测算箱(11)包含信号发射器(1101)、信号放大器(1102)、衰减测量器(1103)、微型控制器(1104)、湿度感应器(1105)、湿度调节器(1106)、工作指示灯(1107)，所述信号发射器(1101)下方安装有所述信号放大器(1102)，所述信号放大器(1102)下方安装有所述衰减测量器(1103)，所述衰减测量器(1103)下方安装有所述微型控制器(1104)，所述微型控制器(1104)下方安装有所述湿度感应器(1105)，所述湿度感应器(1105)下方安装有所述湿度调节器(1106)，所述湿度调节器(1106)上方安装有所述工作指示灯(1107)。

4.根据权利要求1所述的一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：所述底部固定吸盘(1)与所述装置金属壳体(2)连接，所述电子束发生箱(3)与所述电子束发射头(4)连接。

5.根据权利要求1所述的一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：所述装置压力表(5)与所述抽真空机(6)连接，所述装置主腔体(7)与所述干燥热电偶(8)连接。

6.根据权利要求1所述的一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：所述气体干燥箱(9)设置在所述干燥热电偶(8)顶部，所述操作控制箱(12)与所述液晶显示面板(13)连接。

7.根据权利要求1所述的一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：所述装置金属壳体(2)由合金钢压制而成，表面进行抛光处理，厚度为5mm。

8.根据权利要求1所述的一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：所述厚度测算箱(11)垂直设置于所述真空度监测器(10)下方,并通过管道与所述电子束发生箱(3)连接。

9.根据权利要求2所述的一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：所述聚焦调节器(401)与所述电子束运输管(402)连接，所述电子振荡管(403)与所述电子束运输管(402)连接，所述加热电离箱(404)正对所述温度调节器(405)。

10.根据权利要求3所述的一种光学镀膜膜厚监测装置，其特征在于：所述信号放大器(1102)与所述信号发射器(1101)连接，所述衰减测量器(1103)与所述微型控制器(1104)连接,所述湿度感应器(1105)与所述湿度调节器(1106)连接，所述工作指示灯(1107)设置在所述厚度测算箱(11)底部。