[发明专利]一种新型光刻胶喷胶方法在审
申请号: | 201711078697.4 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN109755344A | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 彭寿;马立云;潘锦功;殷新建;张东 | 申请(专利权)人: | 成都中建材光电材料有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 | 代理人: | 李华;温黎娟 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻胶 控制模块 记录模块 处理模块 胶布 光刻 滚涂 涂胶 控制处理模块 喷头 激光刻线 记录激光 刻线轨迹 能源损耗 系统改进 信息传递 除胶剂 胶系统 显影液 布胶 除胶 喷胶 喷涂 显影 填充 污水处理 曝光 | ||
本发明涉及一种光刻胶布胶系统,包括记录模块,控制模块和处理模块,其特征在于,记录模块与控制模块相连,控制模块与处理模块相连,记录模块记录激光刻线轨迹的信息,并将上述的信息传递给控制模块,控制模块控制处理模块进行涂胶。该系统改进了光刻胶的布胶方式,不同于现有的大面积滚涂光刻胶、曝光、显影、除胶,光刻胶涂胶由滚涂改为喷头喷涂,直接将光刻胶准确地填充到激光刻线凹槽中。本发明改善了光刻胶布胶工艺,显著减少了原材料光刻胶、显影液及除胶剂的浪费,大大减轻了污水处理压力,降低了能源损耗和EHS风险。
技术领域
本发明公开了一种光刻胶布胶方法,更具体地说,特别是在薄膜太阳能电池领域激光P1刻线后在所刻凹槽中涂布光刻胶的一种方法。
背景技术
薄膜太阳电池是一种在玻璃基底上沉积TCO层和半导体层薄膜,然后用激光对半导体层进行刻划和背电极沉积等使其形成一个个小的元电池并相互连接起来,最后使用封装材料背板玻璃进行封装,形成一个具有较高开路电压和较大短路电流的功能性组件。
其中在进行激光P1刻线后在刻线凹槽中布施光刻胶是薄膜太阳能电池生产中一项重要的生产工艺,目前的技术手段是在激光P1刻线后直接大面积滚涂光刻胶、曝光、显影、除胶。此种工艺在曝光过程中存在曝光过度的风险,即将P1刻线附近多余的光刻胶曝光固化残存在半导体膜层中,增大薄膜电池内部电阻,降低整个组件的发电效率。此外,不仅对原材料光刻胶和显影液、除胶剂等造成了极大的浪费,还增加了污水处理环节。多耗费了大量水电气能源,还增大了EHS风险。
发明内容
本发明的目的是为了解决上诉存在的缺陷和不足,改进了光刻胶的布胶方式,光刻胶涂胶由滚涂改为喷头喷涂,直接将光刻胶准确地填充到P1刻线凹槽中。
为解决以上技术问题,本发明技术方案提供一种光刻胶布胶系统,包括记录模块,控制模块和处理模块,其特征在于,记录模块与控制模块相连,控制模块与处理模块相连,记录模块记录激光刻线轨迹的信息,并将上述的信息传递给控制模块,控制模块控制处理模块进行涂胶。
优选的,还包括修正模块,所述修正模块与所述处理模块相连,记录处理模块的信息,并将上述的信息反馈给控制模块,控制模块根据反馈信息对处理模块的偏差进行修正。
优选的,所述的记录模块包括CCD1。
优选的,所述的修正模块包括CCD2。
优选的,所述的处理模块为光刻胶喷头。
优选的,所述喷头可以替换为医用针头。
优选的,所述喷头的直径与激光刻线凹槽的直径相同或相近。
本发明技术方案还提供一种光刻胶布胶方法,包括记录模块,控制模块和处理模块和修正模块,其特征在于,记录模块与控制模块相连,控制模块与处理模块相连,处理模块与修正模块相连,记录模块记录激光刻线轨迹的信息,并将上述的信息传递给控制模块,控制模块控制处理模块进行涂胶,修正模块,记录处理模块的信息,并将上述的信息反馈给控制模块,控制模块根据反馈信息对处理模块的偏差进行修正。
优选的,所述的记录模块包括CCD1。
优选的,所述的修正模块包括CCD2。
下面对本发明做进一步的详述:
本发明技术方案提供一种光刻胶布胶系统,包括记录模块,控制模块和处理模块,其特征在于,记录模块与控制模块相连,控制模块与处理模块相连,记录模块记录激光刻线轨迹的信息,并将上述的信息传递给控制模块,控制模块控制处理模块进行涂胶。
优选的,还包括修正模块,所述修正模块与所述处理模块相连,记录处理模块的信息,并将上述的信息反馈给控制模块,控制模块根据反馈信息对处理模块的偏差进行修正。
优选的,所述的记录模块包括CCD1。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的