[发明专利]硬掩模用组合物在审
| 申请号： | 201711063543.8 | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN108089406A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 梁敦植;梁振锡;朴根永;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬掩模 交联剂 耐热性 烷基 芳香族化合物 碳原子数 聚合物 涂布性 溶剂 | ||
【权利要求书】：
1.一种硬掩模用组合物，其包含芳香族化合物的聚合物、含有下述通式1所表示的化合物的交联剂、和溶剂，
通式1
通式1中，R各自独立地为氢、或者碳原子数1或2的烷基，n为2～10的整数。
2.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述通式1中，n为2～4的整数。
3.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述交联剂包含下述化学式1～化学式3所表示的化合物中的至少一种，
化学式1
化学式2
化学式3
4.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述芳香族化合物的聚合物包含下述结构式1所表示的重复单元，
结构式1
结构式1中，A
化学式A
化学式A
化学式A
化学式A
化学式A
化学式A
A
结构式1的B和化学式A
B包含苯环的情况下，所述苯环为非取代、或被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，
n为1～200的整数。
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