[发明专利]测试高功率紫外激光器M2

说明书

本发明涉及一种测试高功率紫外激光器M²因子的检测装置，包括激光器调节座、光路衰减系统和M²因子测量仪；检测装置还包括第一小孔光阑、第二小孔光阑、第一全反镜和第二全反镜，第一小孔光阑和第二小孔光阑可拆卸地设置于光路衰减系统中，第一全反镜和第二全反镜的反射面相对设置，且可相对转动。通过第一小孔光阑和第二小孔光阑可以将光路衰减系统的光路配制为可供M²因子测量仪进行M²因子的状态，这样在对激光器进行批量测试时，可以不用调整光路衰减系统，仅通过激光器调节座以及第一全反镜和第二全反镜调整激光器的激光出射方向，使光束同时穿出第一小孔光阑和第二小孔光阑，就完成了待测激光器与M²因子测量仪之间对光调试，以提高检测效率。

技术领域

本发明属于激光辅助设备领域，尤其涉及一种检测装置测试高功率紫外激光器M2因子的检测装置。

背景技术

激光光束质量M²因子被国际光学界公认为评价激光器系统的质量的一个重要指标。在高功率紫外激光器中，一般采用1064nm和532nm和频生成355nm紫外光，以折射角不同的形式将两种不同波长的光分离开。因调试差异，可能会导致激光器输出的紫外光略有不同的偏转角。因此在测试该类高功率紫外激光器的M²时，每台激光器都需与M²因子测量仪进行反复对光调试。

然而，目前的检测装置在对激光器进行对光调试时需要反复校准光路。与此同时，需要合理的配置衰减系统对激光器输出的高功率光束进行衰减，调节极为麻烦，而导致单台激光器M²因子测试的周期较长，不利于批量测试激光器的M²因子，影响工业激光器的出库速率。

发明内容

基于此，有必要提供一种可以实现快速测试高功率紫外激光器M²因子的检测装置。

一种测试高功率紫外激光器M²因子的检测装置，包括激光器调节座、光路衰减系统和M²因子测量仪；所述激光器调节座用于调节待测激光器的激光出射方向，以将待测激光器的激光经所述光路衰减系统传输至所述M²因子测量仪进行M²因子测试；所述检测装置还包括第一小孔光阑、第二小孔光阑、第一全反镜和第二全反镜，所述第一小孔光阑和所述第二小孔光阑可拆卸地设置于所述光路衰减系统中，用于校准待测激光器的激光经所述光路衰减系统传输至所述M²因子测量仪的光路；所述第一全反镜和第二全反镜的反射面相对设置，且可相对转动，以对待测激光器的激光入射所述光路衰减系统的方向进行调节。

在其中一个实施例中，所述光路衰减系统包括第一级衰减组件、第二级衰减组件和带通滤光片，经所述第一全反镜和第二全反镜调节后的激光依次经过所述第一级衰减组件、第二级衰减组件和带通滤光片进行衰减后，进入所述M²因子测量仪进行M²因子测试。

在其中一个实施例中，所述检测装置还包括密封导管，所述带通滤光片与所述M²因子测量仪通过所述密封导管相连。

在其中一个实施例中，所述第一级衰减组件包括半玻片和偏振片；所述半玻片设于所述第二全反镜与所述偏振片之间，所述偏振片的一侧设有一级遮光筒，入射到所述偏振片上的激光一部分被反射到所述一级遮光筒中，另一部分透过所述偏振片并经所述第二级衰减组件进行衰减后入射到M²因子测量仪。

在其中一个实施例中，所述第一小孔光阑位于所述第二全反镜与所述半玻片之间，所述第二小孔光阑位于所述偏振片与所述第二级衰减组件之间。