[发明专利]驱动模块和包括该驱动模块的塔式升降机构

说明书

一种塔式升降机构，包括：主框架，其在垂直方向上延伸；滑架模块，其被配置成能够在垂直方向上沿着主框架移动；以及驱动模块，其被设置在主框架，用于使滑架模块在垂直方向上移动。驱动模块包括：多个正时皮带，其分别具有被连接到滑架模块的第一端部和被连接到配重模块的第二端部；正时皮带轮，其以单件形式配置，且具有与正时皮带相接合的多个齿轮部分；以及驱动单元，用于使正时皮带轮旋转。

技术领域

本发明涉及一种驱动模块和包括该驱动模块的塔式升降机构。更具体地说，本发明涉及一种使滑架模块垂直地移动来将物体升起和降下的驱动模块，以及包括该驱动模块的塔式升降机构。

背景技术

一般来说，在半导体或者显示器制造过程中，可以通过塔式升降机构在垂直方向上在多层的洁净室之间传送半导体晶圆或者显示器基板。

塔式升降机构可以包括：滑架模块，用于传送物体；主框架，其在垂直方向上延伸，在主框架安装有用于引导滑架模块的导轨；以及驱动模块，用于利用正时皮带使滑架模块在垂直方向上移动。然而，当使用各自与正时皮带相接合的多个正时皮带轮时，正时皮带可能会脱离正时皮带轮，以致会损坏正时皮带轮和正时皮带。

发明内容

本发明提供一种能够提高正时皮带轮的刚性且能够防止正时皮带脱离正时皮带轮的驱动模块。

根据本发明的一个方案，用于使塔式升降机构的滑架模块垂直地移动的驱动模块可以包括：多个正时皮带，其分别具有被连接到所述滑架模块的第一端部和被连接到配重模块的第二端部；正时皮带轮，其以单件形式配置，且具有与所述正时皮带相接合的多个齿轮部分；以及驱动单元，用于使所述正时皮带轮旋转。

根据本发明的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：导环，用于防止所述正时皮带脱离所述正时皮带轮的所述齿轮部分。

根据本发明的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：多个抵推单元，其分别被设置在所述正时皮带轮的两侧，用于朝向所述正时皮带的内侧表面推压所述正时皮带的外侧表面，由此使所述正时皮带与所述正时皮带轮的所述齿轮部分形成紧密接触。

根据本发明的一些示例性实施方式，每个所述抵推单元可以包括：推辊，用于推压所述正时皮带的所述外侧表面。

根据本发明的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：多个对位单元，其分别被设置在所述正时皮带轮的两侧，用于使所述正时皮带对齐所述正时皮带轮的所述齿轮部分。

根据本发明的一些示例性实施方式，每个所述对位单元可以包括：至少一个第一对位滚轮，其被设置在所述正时皮带之间；多个第二对位滚轮，其分别被设置在所述正时皮带的两侧；至少一个固定块，所述第一对位滚轮被安装在所述固定块；以及多个可移动块，所述第二对位滚轮各自被安装在所述可移动块，且所述可移动块被配置成能够在与所述正时皮带轮的中心轴线平行的方向上移动。

根据本发明的一些示例性实施方式，每个所述对位单元可以进一步包括：多个第二固定块，其被设置在所述可移动块的两侧；以及多个弹性部件，其分别被设置在所述可移动块和所述第二固定块之间。

根据本发明的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：驱动轴，其与所述正时皮带轮相联接；以及电磁制动器，其与所述驱动轴相连接。

根据本发明的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：衬套，其被设置在所述正时皮带轮和所述驱动轴之间；以及多个键，其分别被设置在所述正时皮带轮和所述衬套之间、以及所述衬套和所述驱动轴之间。