[发明专利]一种具有减震功能的宏微工作台

权利要求书

1.一种具有减震功能的宏微工作台，其特征在于，包括丝杠螺母副、安装于所述丝杠螺母副的丝母上的基座、安装于所述基座上的微动平台，所述丝杠螺母副的丝杆分别由设于一平台上的第一支座与第二支座支撑，所述丝杆的其中一端穿过所述第一支座并由设于所述第一支座外侧的伺服电机驱动，所述第一支座与所述第二支座上还设有位于所述丝杆两侧的光杆，所述光杆穿过所述丝母并与所述丝母滑动连接，所述光杆在分别靠近第一支座与第二支座处设有限位开关，所述限位开关与所述伺服电机电连接，所述基座上设有凹槽与穿透所述基座的通孔，所述凹槽内设有压电陶瓷驱动器，所述微动平台设于所述通孔内，所述微动平台的其中一侧壁通过一连接部与基座连接，所述连接部与所述微动平台之间具有一通槽，所述通孔内还设有位移传动机构，所述位移传动机构包括第一传动机构与第二传动机构，所述压电陶瓷驱动器的驱动端与所述第一传动机构的动力输入端连接，所述第一传动机构的动力输出端与所述第二传动机构的动力输入端连接，所述第二传动机构的动力输出端与所述微动平台连接，所述压电陶瓷驱动器的两端分别设有半球形的推力球，所述压电陶瓷驱动器的其中一端通过一螺钉设于一支板上表面，所述支板的下表面抵持于一弹簧的端部，所述弹簧的另一端抵持于基座的内壁上，所述压电陶瓷驱动器的另一端设有减震机构，所述减震机构包括一端与所述半球形的推力球形状相适配的橡胶板。

2.根据权利要求1所述的具有减震功能的宏微工作台，其特征在于，所述第一传动机构包括一端与所述橡胶板连接的第一支撑柱，所述第一支撑柱的一端与第一柔性铰链的一端连接，所述第一柔性铰链的另一端连接一第一支撑臂的下表面，所述第一支撑臂的另一端连接一与所述第一柔性铰链相平行并且位于所述第一支撑臂下侧的第二柔性铰链，所述第二柔性铰链的另一端连接于一第二支撑柱上表面，所述第二传动机构包括一端与所述第二支撑柱的下表面连接的第二支撑臂，所述第二支撑臂的另一端设有与所述第二柔性铰链相平行的第三柔性铰链，所述第三柔性铰链的另一端连接一第三支撑柱的下表面，所述第三支撑柱的上表面抵持所述微动平台，所述第一支撑臂的上表面连接有一第四柔性铰链的一端，所述第四柔性铰链的另一端与所述基座相连，所述第二支撑臂的下表面连接于一第五柔性铰链的一端，所述第五柔性铰链的另一端连接所述基座。

3.根据权利要求1所述的具有减震功能的宏微工作台，其特征在于，所述推力球为橡胶片。

4.根据权利要求1所述的具有减震功能的宏微工作台，其特征在于，所述基座上还设有压电陶瓷驱动器的信号线出口。

5.根据权利要求2所述的具有减震功能的宏微工作台，其特征在于，所述第四柔性铰链靠近所述第二支撑柱。

6.根据权利要求2所述的具有减震功能的宏微工作台，其特征在于，所述第五柔性铰链靠近所述第三支撑柱。

7.根据权利要求2所述的具有减震功能的宏微工作台，其特征在于，所述第一柔性铰链、所述第二柔性铰链、所述第三柔性铰链、所述第四柔性铰链以及所述第五柔性铰链均为圆角型柔性铰链。

8.根据权利要求1所述的具有减震功能的宏微工作台，其特征在于，所述微动平台上设有多个安装孔。