[发明专利]天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系及其制备方法

权利要求书

1.一种天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系，其特征在于，膜系结构如下，自反射镜表面开始依次为：打底层、银层、钝化层、介质膜堆层。

2.根据权利要求1所述的天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系，其特征在于，

所述打底层采用铬、镍铬合金或三氧化二铝，厚度为10nm-25nm；

所述银膜层厚度约为100nm；

所述钝化层采用NiCrNx，厚度1nm；

所述介质膜堆层采用氧化铪与氟化镁两种高、低折射率的光学薄膜材料交替组成。

3.权利要求1所述的天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系的制备方法，其特征在于，步骤如下：

（1）所需条件：反射镜镀制需在万级以上洁净车间内完成，真空镀膜设备为离子辅助电子束蒸镀形式，设备应配置有水汽捕集系统，为无油真空环境，镀制前需要对真空室内部进行彻底清洁并烘烤干净，车间内相对湿度应小于45%；

（2）工作准备：加入需要使用的镀膜材料：铬或镍铬合金、银、NiCrNx、氟化镁、氧化铪，清洁待镀反射镜并放入真空室，对真空室进行抽真空；

（3）抽真空至5×10^-4Pa以下开始镀膜；

（4）打底层镀制步骤：离子源轰击清洁反射镜表面10分钟以上，蒸镀打底层材料铬或镍铬合金，厚度10nm-25nm；

（5）银膜镀制步骤：银材料经过预熔后进行快速蒸镀，速率需达到10nm/S，银膜层控制厚度约100nm；

（6）钝化层镀制步骤：钝化层采用NiCrNx，厚度约1nm；

（7）介质膜堆层镀制步骤：介质膜堆层采用氧化铪与氟化镁两种高、低折射率的光学薄膜材料交替镀制完成，起到增加特定波段反射效率的作用同时可以持久的保护银膜免受环境中的酸性物质侵蚀。

4.根据权利要求3所述的天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系的制备方法，其特征在于，步骤（2）加入需要使用的镀膜材料，是指：在无氧铜坩埚中分别加入铬或镍铬合金、NiCrNx、氟化镁、氧化铪；在钼质蒸发舟中加入银料。

5.根据权利要求3所述的天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系的制备方法，其特征在于，步骤（4）打底层镀制步骤为：打底层镀制材料为铬或镍铬合金，镀前真空度优于5×10^-4Pa，霍尔离子源轰击10分钟以上用于清洁镜面，离子源参数：充40SCCM 氧气，离子源阳极电压180 伏，阳极电流6 安培。

6.根据权利要求3-5之一所述的天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系的制备方法，其特征在于，步骤（7）介质膜堆层镀制步骤：介质膜堆层采用氧化铪与氟化镁两种高、低折射率的光学薄膜材料交替镀制完成，烘烤温度100℃-200℃，恒温2-4小时，辅助蒸镀离子源参数：充40SCCM 氧气，离子源阳极电压180 伏，阳极电流6 安培。