[发明专利]一种新型的熔融表皮料结构及其熔融方法在审
申请号: | 201711006709.2 | 申请日: | 2017-10-25 |
公开(公告)号: | CN107604446A | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 周志超;刘建萌;左丙辰;董博雨;王健全;曹飞超 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 熔融 表皮 结构 及其 方法 | ||
技术领域
本发明属于硅晶单元制备工艺领域,特别涉及一种便于熔融的表皮料及其该表皮料的熔融方法。
背景技术
硅棒在制备生产过程中,切方步骤时会蜕下大量的边角表皮料,表皮料为条形体,表皮料的本质为熔融完毕的单晶硅可以再次循环利用,因此表皮料可以进行重复熔融,以往的熔融工艺都是采用,固定式,即将硅料固定在一个夹块上,夹块松开硅料脱落自动熔融,但是此种熔融工艺首先需要设备进行时时判断检测能耗较大,并且还需要操作人员留心进行观察,并且表面金属颗粒剔除能力差容易对原料造成污染。
发明内容
本发明针对现有技术中对硅料的处理方式落后,人力和时间成本较高,所以提供了一种新型的表皮料结构和熔融工艺,其无需监管,熔融过程中自由坠落熔融,省时省力。
一种新型的熔融表皮料结构,其包括竖直延伸的表皮料主体,沿着表皮料主体的中心线开有长条孔,表皮料主体的中心点为基准点,长条孔的中心点为坠落点,坠落点与基准点位于同一竖直线上,坠落点位于基准点下方,坠落点与基准点的间距小于长条孔的宽度。
进一步的,长条孔的两端为弧口端。
进一步的,所述的长条孔的长度与表皮料主体的宽度相同。
进一步的,表皮料主体为条形体,所述的长条孔的长度与表皮料主体的宽度相同。
进一步的,所述的表皮料主体的个数为多个,水平延伸的担杆穿过多个表皮料主体的长条孔。
一种新型的熔融表皮料方法,其包括以下步骤,
①开孔,取多个表皮料,每个将表皮料水平放置,在每个表皮料上首先设定定位基准,并采用钻孔工具钻取两个正对的弧口,采用切割工具剔除两个弧口之间的长条孔以将两个弧口连通形成长条孔;
②粗洗,采用喷淋水对表皮料主体进行喷洗之后晾干;
③碱洗,将表皮料主体置入碱洗液中进行浸泡,浸泡时常大于3h,碱洗完成后冲洗烘干;
④装配,将各个表皮料竖直设置,并采用担杆穿过表皮料上开设的长条孔,将担杆配装在单晶炉内;
⑤熔融,启动单晶炉开始逐级加热,在单晶炉增温加热过程中表皮料底部逐渐熔融,此时表皮料的重心开始逐渐上升,当表皮料的重心逐渐上移过程中与长条孔的中心重合时,表皮料开始倾斜,当表皮料的重心高于长条孔的中心时,表皮料自动跌落。
进一步的,所述的表皮料在步骤②之前,还需要进行高温加热,温度为500℃,高温加热完成后快速取出进行喷淋。
本发明相对于现有技术相比具有以下有益效果:
采用了新型的开孔技巧,采用了长条孔作为挂孔,开设的长条孔位于中心线上,在熔融过程中巧妙的利用了表皮料重心升高的原理使得表皮料在熔融过程中自动翻转跌落,无需人为干涉,无需额外增设自动化部件,熔融效果良好。
剔除了原有设备中的夹取装置和各种辅助结构,降低了设备复杂度,从而降低了故障率,剔除掉的结构可以降低单晶炉的生产成本和能源消耗。
采用了合适的尺寸设计长宽比和面积比之间设计合理,彼此动力链相互联系,具备良好的连贯性。
附图说明
图1为本发明的正视结构图;
图2为本发明侧视结构图;
附图标记说明:表皮料主体1、长条孔2、担杆3;
具体实施方式
以下结合附图1-2对本发明做进一步详细说明。
提供了一种新型的熔融表皮料结构,其包括竖直延伸的表皮料主体,沿着表皮料主体的中心线开有长条孔,长条孔的两端为弧口端,表皮料主体的中心点为基准点,长条孔的中心点为坠落点,坠落点与基准点位于同一竖直线上,坠落点位于基准点下方,坠落点与基准点的间距小于长条孔的宽度,所述的长条孔的长度与表皮料主体的宽度相同,所述的表皮料主体的个数为多个,水平延伸的担杆穿过多个表皮料主体的长条孔,表皮料主体为条形体,所述的长条孔的长度与表皮料主体的宽度相同。长条孔的面积与表皮料主体的面积的比值为
提供了一种新型的熔融表皮料方法,其特征在于:包括以下步骤,
①开孔,取多个表皮料,每个将表皮料水平放置,在每个表皮料上首先设定定位基准,并采用钻孔工具钻取两个正对的弧口,采用切割工具剔除两个弧口之间的长条孔以将两个弧口连通形成长条孔;
②粗洗,进行高温加热,温度为500℃,高温加热完成后快速取出进行喷淋,喷淋完毕后,置入采用声波高频清洗机中进行高频清洗,采用喷淋水对表皮料主体进行喷洗之后晾干;
③碱洗,将表皮料主体置入碱洗液中进行浸泡,浸泡时常大于3h,碱洗完成后冲洗烘干;
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