[发明专利]磁盘用基板、磁盘和磁盘驱动装置

说明书

本发明涉及磁盘用基板、磁盘和磁盘驱动装置。在使用DFH头进行记录、读取的磁盘中所用的圆盘状基板主表面的圆周方向上取得10～500μm波长成分的波纹度，并以50～100μm范围内的间隔从该波纹度取得斜率时，上述斜率的绝对值的平均值为0.45×10^‑4以下。将该磁盘用基板用于磁盘和磁盘驱动装置。

本申请是分案申请，其原申请的申请号为201480070863.4，申请日为2014年12月26日，发明名称为“磁盘用基板、磁盘和磁盘驱动装置”。

技术领域

本发明涉及一种磁盘用基板、磁盘和磁盘驱动装置。

背景技术

如今，在个人计算机或DVD(Digital Versatile Disc，数字通用光盘)记录装置等中内置有用于数据记录的硬盘驱动装置(HDD：Hard Disk Drive)。特别是在笔记本型个人计算机等以便携性为前提的设备中所用的硬盘驱动装置中，使用在基板上设置有磁记录层的磁盘，利用略微悬浮在磁盘的面上的磁头对磁记录层记录或读取磁记录信息。优选使用玻璃基板作为该磁盘的基板，这是因为其具有比金属基板(铝合金基板)等更难以发生塑性变形的性质。

此外，应硬盘驱动装置中存储容量的增大的要求，谋求磁记录的高密度化。例如利用使磁记录层中的磁化方向相对于基板的面为垂直方向的垂直磁记录方式，进行磁记录信息区域(记录位(bit))的微细化。对于垂直磁记录方式的磁盘，在金属基板或玻璃基板上依次成膜有例如附着层、软磁性层(SUL：Soft Under Layer)、底层、磁记录层、保护层、润滑层等。通过采用垂直磁记录方式，能够增大1张盘片基板中的存储容量。此外，为了进一步增大存储容量，还进行通过仅使磁头的记录再生元件部从滑动面向磁盘方向更加突出，从而使其与磁记录层之间的距离变得极短来进一步提高信息的记录再生精度(提高S/N比)。需要说明的是，这种磁头的记录再生元件部的控制被称作DFH(Dynamic Flying Height，动态飞行高度)控制机构，搭载有该控制机构的磁头被称作DFH头。对于与该DFH头组合用于HDD的磁盘用玻璃基板而言，为了避免与磁头或从磁头进一步突出的记录再生元件部的碰撞、接触，按照使基板的表面凹凸极小的方式进行制作。

DFH控制机构是如下进行控制的机构，在磁头的读取元件和写入用元件(以下统称为R/W元件部)的周围设置加热线圈，对在加热线圈中流动的电流进行控制，由此控制R/W元件部的膨胀，使得从磁头面至磁盘表面的距离接近数nm。该情况下，为了对磁盘的写入或读取能够长期稳定，磁盘表面与R/W元件部接触导致R/W元件部发生磨耗是不优选的。因此，优选磁盘表面为波纹度小的平滑的面，特别是对于作为磁盘基板的玻璃基板而言，要求波纹度极小。

这种状况下，已知有对于磁记录介质用玻璃基板的记录再生区域的整个面而将微波纹度的变化量控制在规定的范围内的磁记录介质用玻璃基板(专利文献1)。

具体而言，对于该磁记录介质用玻璃基板的主平面，在设定于主平面的整个面(该主平面的整个面包含制成磁盘时成为记录再生区域的区域的整个面)的格子状的各评价区域中对微波纹度(nWq)进行测定时，一个评价区域和与其邻接的评价区域之间的微波纹度的变化量的绝对值(ΔnWq)相对于一个评价区域的微波纹度的比率(变化率)为10％以下。此外，在该格子状的各评价区域中进行测定的微波纹度(nWq)的平均值为0.080nm以下。微波纹度的周期(波长)为0.2μm～1.8μm。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4977795号公报

发明内容

发明所要解决的问题

但是，在上述玻璃基板上形成磁性层而制作出磁盘，并进行DFH头的特性评价时，在R/W元件部的前端能够确认到磨耗痕迹。这是由于R/W元件部与磁盘的表面接触发生摩擦而导致的。