[发明专利]磁盘用基板、磁盘和磁盘驱动装置

权利要求书

1.一种磁盘用基板，其为具有一对主表面的磁盘用基板，其特征在于，

在所述主表面，沿着圆周方向取得10μm～500μm波长成分的波纹度，以任意位置为开始位置，并以50μm～100μm范围内的间隔Δx抽取高度数据，将抽取的两个邻接数据的值设为z1、z2，则斜率为(z2-z1)/Δx，由此从该波纹度取得斜率时，所述斜率的绝对值的平均值为0.45×10^-4以下，

所述主表面的算术平均粗糙度Ra为0.3nm以下。

2.如权利要求1所述的磁盘用基板，其中，所述波纹度是针对距所述磁盘用基板的中心20.86mm的位置的一周取得的。

3.一种磁盘用基板，其为具有一对主表面的磁盘用基板，其特征在于，

在所述主表面，针对距所述磁盘用基板的中心20.86mm的位置的一周，沿着圆周方向取得10μm～500μm波长成分的波纹度，以任意位置为开始位置，并以50μm～100μm范围内的间隔Δx抽取高度数据，将抽取的两个邻接数据的值设为z1、z2，则斜率为(z2-z1)/Δx，由此从该波纹度取得斜率时，所述斜率的绝对值的平均值为0.45×10^-4以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的磁盘用基板，其中，所述主表面的半径方向上的算术平均粗糙度Ra_rad与圆周方向上的算术平均粗糙度Ra_cir之比、即Ra_rad/Ra_cir在0.95～1.05的范围内。

5.如权利要求1～3中任一项所述的磁盘用基板，其中，10μm～500μm波长成分的波纹度的均方根粗糙度Rq为0.04nm以下。

6.如权利要求1～3中任一项所述的磁盘用基板，其中，所述斜率的绝对值的平均值为0.40×10^-4以下。

7.如权利要求1～3中任一项所述的磁盘用基板，其中，所述磁盘用基板的材料为铝硅酸盐玻璃。

8.如权利要求7所述的磁盘用基板，其中，在所述磁盘用基板的表层部分形成压缩应力层。

9.如权利要求1～3中任一项所述的磁盘用基板，其中，所述磁盘用基板是与DFH头组合用于HDD的磁盘用。

10.一种磁盘，其在权利要求1～9中任一项所述的磁盘用基板的所述主表面上至少具有磁性层。

11.一种磁盘驱动装置，其具备权利要求10所述的磁盘、用于固定所述磁盘的主轴和磁头。